[发明专利]抛光板自转和公转的装置及使用该装置的抛光板操作方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求根据35USC 119（a）享有2011年6月16日在韩国提交的韩国专利申请No.10-2011-0058532的优先权，该申请的全部内容通过引用方式纳入本文。

技术领域

本发明涉及一种用于使抛光板自转（rotation）和公转（revolution）的装置以及一种使用该装置的抛光板操作方法，更具体地，涉及一种用于使抛光板自转和公转的装置以及一种使用该装置的抛光板操作方法，所述装置和方法可通过允许抛光板自转和公转来提高玻璃基板的抛光率。

背景技术

通常，非常重要的是使应用于液晶显示器的玻璃基板保持其平面度（flatness）在某一水平，从而准确地呈现图像。因此，存在于玻璃基板的表面的细微的不均匀或起伏应通过抛光工艺去除。

玻璃基板的抛光工艺可分为将单独的玻璃基板逐个抛光的所谓“操作顺序控制阵列（Oscar）”法和连续抛光一系列玻璃基板的所谓“排队（inline）”法。抛光工艺还可分为仅对玻璃基板的一个表面抛光的“单面抛光”和对玻璃基板的两个表面都抛光的“双面抛光”。

参照图1，其示意性示出一个常规的玻璃基板抛光设备，在玻璃基板G通过托架4保持在下部板2上的状态中，抛光设备10将一个上部板（或抛光板）8——其中抛光垫6安装至该上部板（抛光板）——带至与所述玻璃基板G接触，并同时在转动所述抛光板8时在抛光板8和玻璃基板G之间供应抛光液，由此研磨所述玻璃基板G。对于此，通过使用形成在抛光板8中的多个狭缝8a以及安装在抛光板8上方的与所述抛光板8间隔开的一个位置处的软管3，抛光设备10借助自由降落供应抛光液体。

抛光板8借助从一个轴7传送的转动力转动。然而，由于仅抛光板8转动，在提高玻璃基板G的抛光率方面存在限制。

发明内容

本发明设计用于解决现有技术的问题，因此本发明的一个目的是提供一种能够允许抛光板（或轴）自转和公转的装置，以及使用该装置的抛光板操作方法。

本发明的另一目的是提供一种能够提高玻璃基板的抛光率的装置以及使用该装置的抛光板操作方法。

一方面，本发明提供了一种用于使抛光板自转和公转的装置，包括：一个圆柱体构件（20），具有沿长度方向形成的一个中空部以及具有形成在外周缘的一个外周缘齿轮（26）；一个轴（50），沿长度方向安装在所述中空部中并且由所述圆柱体构件（20）支承以能够在偏离所述圆柱体构件（20）的中心的位置自转，一个轴齿轮（51）安装至所述轴（50）的外周缘，所述轴（50）连接至一个抛光板；以及一个环齿轮（60），具有一个内部齿轮（61）和一个外部齿轮（62），所述内部齿轮（61）形成在该环齿轮的内周缘，所述外部齿轮（62）形成在该环齿轮的外周缘，所述内部齿轮（61）被安装为与所述轴齿轮（51）啮合。在将一个驱动力传送至所述圆柱体构件（20）使得所述圆柱体构件（20）自转的情况下，所述轴（50）借助于偏心性（eccentricity）在所述中空部内公转，所述公转是在所述轴齿轮（51）与所述内部齿轮（61）啮合的状态下进行的。

此时，在将一个驱动力传送至所述外部齿轮（62）以使得所述环齿轮（60）自转的情况下，所述轴齿轮（51）可自转。

所述环齿轮（60）可通过使用来自一个自转马达传送的驱动力自转，所述圆柱体构件（20）可通过使用来自一个公转马达传送的驱动力自转。

另外，可在所述环齿轮（60）和所述自转马达之间安装多个齿轮（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允许传送所述自转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比（reduction rate）。

此外，在所述外周缘齿轮（26）和所述公转马达之间可安装多个齿轮（22）、（23）和（24），以允许传送所述公转马达的驱动力，从而调节齿轮减速比。

同时，在另一方面，本发明还提供了一种使用使抛光板自转和公转的装置的抛光板操作方法，其中通过推动（force）连接至用于将玻璃基板抛光的抛光板的一个轴（50）自转和公转，使抛光板同时自转和公转。