[发明专利]基片上料机械手、基片上料系统和PECVD设备

摘要

本发明公开了一种基片上料机械手，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。根据本发明实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进程，提高了工作效率。本发明还公开了一种基片上料系统和具有其的PECVD设备。

主权项

一种基片上料机械手，其特征在于，包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。