[发明专利]基片上料机械手、基片上料系统和PECVD设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件技术领域，特别地涉及一种基片上料机械手、具有所述基片上料机械手的基片上料系统和PECVD设备。

背景技术

传统的太阳能平板式PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备工作过程中，取片机械手从上料台的料盒中不断取出电池片。当取片机械手伸入到料盒中时，如果装载系统出现故障而停止工作，此时操作人员在不熟悉整个设备的情况下极有可能直接对上料台进行升降，从而导致取片机械手被料盒压迫，进而导致取片机械手前端的吸附件损坏，甚至会使得取片机械手的手臂弯曲并导致支架变形。因此造成了对取片机械手的损坏，增加了维修和替换成本，而且耽误了工作进度。

此外，在现有的PECVD设备中，通常控制上料台的控制装置设置成在上料台发生故障时对该上料台进行锁定，即现有的PECVD只能实现对上料台的单锁设计。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种基片上料机械手，所述基片上料机械手避免了损坏，降低了维修和替换成本且不耽误工作进度。

本发明的另一个目的在于提出一种具有上述基片上料机械手的基片上料系统。

本发明的再一个目的在于提出一种具有上述基片上料系统的PECVD设备。

根据本发明第一方面实施例的基片上料机械手，包括：包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋转地连接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件设在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋转检测装置，所述旋转检测装置用于检测所述手臂的旋转运动。

根据本发明实施例的基片上料机械手，通过将手臂可旋转地连接在支架上，使得当基片上料机械手运动受制时可实现与上料台的互锁设计，及时避免了对手臂或基片吸附件的损坏，降低了维修和替换成本，并且不耽误工作进度，提高了工作效率。

另外，根据本发明的基片上料机械手还具有如下附加技术特征：

可选地，所述旋转检测装置包括：用于测量所述手臂旋转角度的传感器。

可选地，所述手臂通过枢转轴连接在所述支架上。

可选地，所述传感器设在所述枢转轴处。

可选地，所述基片吸附件为吸盘。

可选地，所述旋转检测装置包括：弹性件，所述弹性件固定连接至所述手臂的另一端。

根据本发明第二方面实施例的基片上料系统，包括：料盒，所述料盒内具有用于放置基片的腔室；可升降的上料台；传送带，所述传送带将所述料盒传送到所述上料台上；根据本发明第一方面实施例所述的基片上料机械手，其中所述基片上料机械手伸入所述腔室中进行取片；和第一控制单元，所述第一控制单元用于控制所述基片上料机械手的运动；以及第二控制单元，所述第二控制单元用于控制所述上料台的升降。

所述基片上料系统还包括升降驱动装置，所述升降驱动装置设在所述上料台底部且与所述第二控制单元电连接以驱动所述上料台的升降。

可选地，所述第二控制单元在所述旋转检测装置检测到所述手臂旋转时停止所述上料台的升降。

可选地，所述升降驱动装置为丝杠。由此，通过采用丝杠，从而整个结构简单、易于安装且成本低。

所述基片上料系统还包括托盘和上下夹持气缸，所述上下夹持气缸设在所述上料台上用于定位所述料盒。

根据本发明实施例的基片上料系统，结构合理且性能安全，从而极大地提高了工作效率。

根据本发明第三方面实施例的一种PECVD设备，包括根据本发明第二方面实施例所述的基片上料系统。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1（a）是根据本发明第一方面实施例的基片上料机械手的示意图；

图1（b）是根据本发明第一方面实施例的另一基片上料机械手的示意图；

图2是根据本发明第二方面实施例的基片上料系统的示意图；

图3是图2中所示的基片上料系统的基片上料机械手运动受制时上料台上升状态的示意图；

图4是图2中所示的基片上料系统的基片上料机械手运动受制时上料台下降状态的示意图；和

图5是基片上料机械手位于准备位置时的示意图。

具体实施方式