[发明专利]一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置有效
| 申请号： | 201210193104.X | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102707588A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;杨开明;余东东;李鑫;汪劲松;徐登峰;张鸣;胡金春;穆海华;尹文生;崔乐卿 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，属于超精密加工和检测设备技术领域。本发明定位装置包含两个相同定位组件，每个定位组件由一个可伸缩单元、一个推杆、一个定位凹槽和一个位置传感器组成，位置传感器用于工件台的位置检测，提供定位执行信号。本发明解决了无横梁连接的双边驱动工作台在无驱动力作用时产生的沿Y轴方向漂移问题，避免了双边工件台不同步造成的对其上方负载的结构损坏，同时解决了两侧工件台在无驱动力作用时的沿Y轴方向位置对准问题。双边工件台在工作前无需进行对准操作，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 横梁 连接 双边 驱动 工件 定位 对准 装置 | ||
【主权项】：
一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，两个结构相同的工件台分别在两条导轨（5）上沿Y方向运动，两条导轨（5）沿X方向对称布置于基台（4）上，其特征在于：所述定位对准装置包含两个相同组件，分别布置于工件台一侧；每个组件包含一个可伸缩单元（2）、一个推杆（8）、一个定位凹槽（1）和一个位置传感器（3）；可伸缩单元（2）沿X轴运动，固定在基座（4）上，推杆（8）固定在可伸缩单元（2）的顶端，可伸缩单元（2）带动推杆（8）沿X轴方向运动，定位凹槽（1）设置在工件台（6）上，位置传感器（3）固定在导轨（5）上，定位凹槽（1）与推杆（8）顶端相配合。
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