[发明专利]一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置有效
| 申请号： | 201210193104.X | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN102707588A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;杨开明;余东东;李鑫;汪劲松;徐登峰;张鸣;胡金春;穆海华;尹文生;崔乐卿 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 横梁 连接 双边 驱动 工件 定位 对准 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，两个结构相同的工件台分别在两条导轨（5）上沿Y方向运动，两条导轨（5）沿X方向对称布置于基台（4）上，其特征在于：所述定位对准装置包含两个相同组件，分别布置于工件台一侧；每个组件包含一个可伸缩单元（2）、一个推杆（8）、一个定位凹槽（1）和一个位置传感器（3）；可伸缩单元（2）沿X轴运动，固定在基座（4）上，推杆（8）固定在可伸缩单元（2）的顶端，可伸缩单元（2）带动推杆（8）沿X轴方向运动，定位凹槽（1）设置在工件台（6）上，位置传感器（3）固定在导轨（5）上，定位凹槽（1）与推杆（8）顶端相配合。
2.如权利要求1所述的一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，其特征在于：推杆（8）的顶端与定位凹槽配合结构采用平面对平面、曲面对曲面或平面对曲面。
3.如权利要求1所述的一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，其特征在于：位置传感器（3）采用光电传感器、霍尔传感器或电涡流传感器。
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