[发明专利]风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法

摘要

本发明提供了风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法。根据本发明的风机过滤器机组控制设备包括：光耦和继电器；其中，继电器的线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端以监控风扇电压是否正常；风扇的两端施加了用于驱动风扇工作的驱动电压；在线圈中不存在电流的情况下，继电器断开；并且，在风扇工作正常从而线圈中存在电流的情况下，继电器接通。设备还包括：二极管、电阻；二极管与风扇串联，监控风扇电流是否正常，提供光耦的采样电压信号。当风扇工作电流正常时，电流通过二极管而产生压降，光耦输入端即有电流通过，从而输出端导通。电阻用来限制光耦输入端电流不超过光耦的最大额定电流。

主权项

一种风机过滤器机组控制方法，其特征在于包括：在向晶圆盒载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，向晶圆盒载入晶圆；在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不向晶圆盒载入晶圆。