[发明专利]风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法

权利要求书

1.一种风机过滤器机组控制方法，其特征在于包括：

在向晶圆盒载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；

在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，向晶圆盒载入晶圆；

在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不向晶圆盒载入晶圆。

2.根据权利要求1所述的风机过滤器机组控制方法，其特征在于还包括：在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，触发中断信号，以使得不能从晶圆盒卸载晶圆。

3.一种风机过滤器机组控制方法，其特征在于包括：

在从晶圆盒卸载晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；

在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，从晶圆盒卸载晶圆；

在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不从晶圆盒卸载晶圆。

4.根据权利要求3所述的风机过滤器机组控制方法，其特征在于还包括：在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，触发中断信号，以使得不能从晶圆盒卸载晶圆。

5.一种晶圆加工方法，其特征在于采用了根据权利要求1至4之一所述的风机过滤器机组控制方法。

6.一种风机过滤器机组控制设备，其特征在于包括：光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈中存在电流的情况下，所述继电器和光耦接通。

7.根据权利要求6所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，在所述风机接通的情况下，所述继电器和光耦输出启动信号。

8.根据权利要求7所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。

9.根据权利要求6至8之一所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述驱动电压等于24V。

10.一种风机过滤器机组控制设备，其特征在于包括：光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开，所述风机不存在电流情况下，所述光耦断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈和光耦中存在电流的情况下，所述继电器和光耦输出端同时接通；

并且，所述风机过滤器机组控制设备还包括：二极管以及电阻；二极管的输入端连接至风扇和线圈的公共连接端；光耦的发光器件输入端也连接至风扇和线圈的所述公共连接端；电阻连接在二极管的输出端和光耦的发光器件输出端之间以限制光耦的输入电流在额定电流内；光耦的感光器件输出端连接至继电器。

11.根据权利要求10所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，在所述线圈接通且光耦的感光器件感测出电流的情况下，所述线圈和光耦同时输出启动信号；其中，如果只有线圈接通或者只有光耦导通，则不能输出启动信号。

12.根据权利要求11所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。