[发明专利]刻划装置

摘要

提供可消除于刻划槽的形成时因切粉或废材的飞散而产生的弊害的刻划装置。本发明的刻划装置，具有具备将刀轮11保持的刀安装构件10、将前述刀安装构件10的支持轴12通过轴承13保持为可旋动的保持具9的刻划头7安装为可沿着在刻划装置的导引棒3设置的导引部6移动，其特征在于：在前述刻划头7形成气体吹出口16，此气体吹出口16形成为以前述导引棒3成为上流的方式向刀轮11的刃前缘部分吹送。

主权项

一种刻划装置，其特征在于其具有刻划头，此刻划头具备将刀轮保持为可转动的刀安装构件、及将形成于前述刀安装构件的支持轴通过轴承支持为可旋动的保持具，前述刻划头支持于设有为了使该刻划头移动的导引部与为了检出该刻划头的位置的位置检出机构的导引棒，借由使前述刀轮在加工对象的基板上转动以形成刻划槽，其特征在于：在前述刻划头形成有从前述刀安装构件的侧方吹出冲洗用气体的气体吹出口，以前述导引棒较来自前述气体吹出口的冲洗用气体的流动靠上流的方式向刃前缘部分吹送。