[发明专利]刻划装置

说明书

技术领域

本发明是关于用来于玻璃基板、半导体基板等脆性材料基板形成刻划槽(切槽)的刻划装置。

背景技术

在分断脆性材料基板的玻璃基板的过程中，借由将刀轮(也称为刻划轮)按压于基板表面并使移动以形成刻划槽的方法是一般已知，例如，在专利文献1、专利文献2亦以揭示。

参阅图8，说明专利文献1的刻划装置的概要。

在下端具备刀轮21的刻划头22设为可沿于X方向延伸的导引棒23的导引部24在X方向移动。导引棒23以左右的支持柱25、25支持，形成为可沿导引轨道26在Y方向移动。在刻划头22的下方配置在水平面内可旋动的平台27，在此平台27上载置基板W。

上述刀轮21是如图9所示通过刀安装构件(保持具接头)29安装于保持具28。刻划头22保持具28被保持为可上下升降，刀安装构件(保持具接头)29具有垂直的支持轴30，此支持轴30通过轴承31可旋动地支持于保持具28。刀轮21的旋转轴的位置是从将支持轴30垂直地往下方延长的在线偏离而使其具有与后倾角(cas ter)同样的动作，以使于使刻划头22直线移动时维持刀轮21的转动方向的直进性(利用所谓后倾角效果)。使此刀轮21下降以使成为将刃前缘压于平台27上的基板W的状态，借由使刻划头22沿着导引部24在X方向移动来对基板W进行刻划槽的加工。

为了将在刻划槽的加工时发生的玻璃屑等切粉或小废材吹飞，在刀轮21的斜上方在刀安装构件(保持具接头)29的内部(为了将刀轮21轴支为可旋转的内部空间)开口有向下方将压缩空气吹出的空气吹出口32。此空气吹出口32是通过将刀安装构件(保持具接头)29与支持轴30贯通的流路33连通于图示外的压缩空气的供给源，在将刻划槽加工之际，从空气吹出口32向刀轮21吹送压缩空气将切粉或废材吹飞。

专利文献1：日本特开2000-247667号公报

专利文献2：日本特开2004-189556号公报

发明内容

[发明欲解决的课题]

如图9所示，若在刀轮21的斜上方从在刀安装构件(保持具接头)29的内部形成的空气吹出口32将压缩空气吹出，压缩空气虽会往下方，往对向的基板W的表面吹送，但之后压缩空气会与切粉一起往外方放射状地分散并吹飞或再度往上方飞起，变成无法控制其飞散方向。其结果，有切粉或废材侵入轴承31或其它的运动机构而成为动作不良的原因的状况。特别是若飞散的切粉附着于与刻划头22(刀轮21)的行进方向平行设于导引棒23的下部的刻划头位置检出用的线性标尺S，会有线性标尺S的量测误差或读取错误产生等问题。

此外，在最近的基板分断压工要求在制品从已经图案化的大面积的母基板切出个别的制品时尽可能抑制废材的发生以有效利用基板的大致全面，故发生的废材的大小比以前细。在此种细废材飞散的场合，容易进入刻划头22(刀轮21)的机械式机构的小间隙部分，因此原因而对以往不成为问题的位置也有废材进入，容易发生麻烦。

例如，在最近的刻划装置虽由于减低基板表面的凹凸的影响以进行安定的刻划的目的或刀轮的往基板的过度的按压防止等的目的而有使用于刀安装构件附近的位置配置导引滚轮的保持具的场合(例如参阅专利文献2)，在此种场合，细废材进入刀安装构件与导引滚轮的安装构件的间隙，对刀安装构件的旋转动作产生影响的麻烦容易发生。

针对此点，本发明是以提供可消除于刻划槽的形成时因切粉或废材的飞散而产生的麻烦的刻划装置为目的。

[解决课题的手段]

为了解决上述课题而为的本发明的刻划装置是一种刻划装置，具有具备将刀轮保持为可转动的刀安装构件、将形成于前述刀安装构件的支持轴通过轴承支持为可旋动的保持具的刻划头，前述刻划头支持于设有为了使该刻划头移动的导引部与为了检出该刻划头的位置的位置检出机构的导引棒，借由使前述刀轮在加工对向的基板上转动来形成刻划槽，其特征在于：在前述刻划头形成从前述刀轮的侧方吹出冲洗用气体的气体吹出口，以前述导引棒成为比来自前述气体吹出口的冲洗用气体的流动更靠上流的方式向刃前缘部分吹送。

在此，位置检出机构是刻划头的导引棒上的位置可量测者，可使用例如由线性标尺与观察该线性标尺的光学读取装置构成的检出机构。

冲洗用气体虽是压缩空气低价而较理想，但只要能将切粉吹飞即可，故为干燥氮气等亦可。

[发明效果]