[发明专利]刻划装置

权利要求书

1.一种刻划装置，其特征在于其具有刻划头，此刻划头具备将刀轮保持为可转动的刀安装构件、及将形成于前述刀安装构件的支持轴通过轴承支持为可旋动的保持具，

前述刻划头支持于设有为了使该刻划头移动的导引部与为了检出该刻划头的位置的位置检出机构的导引棒，借由使前述刀轮在加工对象的基板上转动以形成刻划槽，其特征在于：

在前述刻划头形成有从前述刀安装构件的侧方吹出冲洗用气体的气体吹出口，以前述导引棒较来自前述气体吹出口的冲洗用气体的流动靠上流的方式向刃前缘部分吹送。

2.如权利要求1所述的刻划装置，其特征在于其中，在前述气体吹出口与前述刀安装构件之间安装有外罩，此外罩作为用来阻止废材侵入的分隔壁，且设有使朝向前述刀轮的冲洗用气体沿前述基板面通过的开口。

3.如权利要求2所述的刻划装置，其特征在于其中，前述气体吹出口与前述外罩的开口沿着被加工的基板面形成为在横方向细长。

4.如权利要求2或3中任一权利要求所述的刻划装置，其特征在于其中，在前述刻划头的保持具，分别借由导引滚轮安装构件可转动地支持有夹前述刀安装构件排列为直线状的一对导引滚轮，

前述外罩固定于前述导引滚轮安装构件的单侧侧面且安装为围着刀安装构件的单侧侧面。