[发明专利]一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法

摘要

一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法，是由工控机控制的全自动清洗系统，装有工件的清洗篮放置于自动上料台，再由工控机控制机械手依次将工件输送到各个工位，按照程序对Si电池片进行清洗、酸、碱腐蚀处理等工艺处理后，从下料台输出。本发明的优点是采用上述的技术方案之后，在处理大量的被处理物时，可以确保所有表面整体的温度、浓度达到均匀性；保证被处理物处理完毕后表面的均一性，并且提高刻蚀后的表面精度；改善浓度及温度不均匀的问题，且喷淋过程中达到完全喷淋；可以避免造成滞流部分的温度、浓度不均匀，降低滞流部分颗粒对被处理物的污染；保证槽内被处理物的清洁度。通过酸洗槽及酒精槽等工艺槽的处理提高电池片的转换率。

主权项

一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法，其特征在于含有以下步骤：步骤1、自动上料被处理物硅片；步骤2、被处理物硅片进入2#酸腐蚀槽；步骤3、被处理物硅片进入3#酸腐蚀槽；步骤4、被处理物硅片进入4#QDR槽；步骤5、被处理物硅片进入5#碱洗槽；步骤6、被处理物硅片进入6#喷淋槽；步骤7、被处理物硅片进入7#碱洗槽；步骤8、被处理物硅片进入8#喷淋槽；步骤9、被处理物硅片进入9#超声波清洗槽；步骤10、被处理物硅片进入10#超声波清洗槽；步骤11、被处理物硅片进入11#喷淋槽；步骤12、被处理物硅片进入12#慢提拉槽；步骤13、被处理物硅片进入13#自动下料；上述步骤中腐蚀槽的碱洗药液自动循环并鼓泡，确保药液的均匀；对腐蚀槽、碱洗、IPA工艺槽上、侧部设计排风管路，保持设备内部工作环境清洁，防止交叉污染。