[发明专利]一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法，属于光伏技术领域。

背景技术

目前，制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀，形成微沟，降低硅片表面的反射率，促使太阳在硅片表面进行多级反射，提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备工艺中，制绒工艺是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分，也是提高太阳能电池转换效率的重要途径之一。

在制绒工艺中，酸制绒处理设备是很重要的一部份，现有制绒处理设备是由处理槽(含内、外槽)和循环储存罐(处理液用)所构成。但存在以下几个问题：

1：酸制绒处理设备的基板表面的要求是刻蚀中要确保被处理物的表面温度和浓度要均匀。在处理大量的被处理物时，要确保所有表面整体的温度、浓度达到均匀性是很难做到的。

2：将大量的被处理物一次性放入处理槽中处理时，按现有的方法(槽的构造也仅是从槽底部的注入到槽上部的溢流)即使没有强烈的反应热的发生，基板的上下温度差和浓度差也是必然要发生的，为此很难保证被处理物处理完毕后表面的均一性，并且如何提高刻蚀后的表面精度也是很困难的问题。

3：为改善浓度及温度不均匀的问题，如果仅仅将循环流量大幅度的增加，会带来上部液面极端上升的问题。如此不仅给设备小型化带来了障碍，也存在下面喷淋过程中达不到完全喷淋等问题(比如传送机械手以及带把手的花篮会使下面喷淋不到位等)。

发明内容

为了克服现有的不足，本发明提供一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法。

本发明要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法，可以确保被处理物的表面温度和浓度均匀，以及提高刻蚀后的表面精度，大大提高了电池片的转换率；解决背景技术存在的问题。

为实现以上目的，本发明提供了一种全自动化SE电池量产腐蚀加工方法，含有以下步骤：

步骤1、自动上料被处理物硅片；

步骤2、被处理物硅片进入2#酸腐蚀槽；

步骤3、被处理物硅片进入3#酸腐蚀槽；

步骤4、被处理物硅片进入4#QDR槽；

步骤5、被处理物硅片进入5#碱洗槽；

步骤6、被处理物硅片进入6#喷淋槽；

步骤7、被处理物硅片进入7#碱洗槽；

步骤8、被处理物硅片进入8#喷淋槽；

步骤9、被处理物硅片进入9#超声波清洗槽；

步骤10、被处理物硅片进入10#超声波清洗槽；

步骤11、被处理物硅片进入11#喷淋槽；

步骤12、被处理物硅片进入12#慢提拉槽；

步骤13、被处理物硅片进入13#自动下料；

上述步骤中腐蚀槽的碱洗药液自动循环并鼓泡，确保药液的均匀；

对腐蚀槽、碱洗、IPA工艺槽上、侧部设计排风管路，保持设备内部工作环境清洁，防止交叉污染。

还含有以下步骤：

液位、温度等参数检测步骤；

液位：对槽体的液位补液箱的液位和加热箱的液位进行时时控制起到保护作用。

温度：对槽体的温度补液箱的温度和加热箱的温度进行时时控制起到保护作用；

自动、手动操作转换步骤；

手动步骤：可以对每各阀门，泵，电机，加热器单独启动，对机械手可以手动纵向和横向到达任意位置。

自动步骤：对每个槽体自动补液，温度自动调节，液位自动调节，机械手自动在槽体之间运送花篮，机械手到达每个槽工位时槽盖将会自动开启，离开时槽盖将会自动关闭。

时间、温度、搬送速度数字化设定步骤；

可以对时间、温度和机械手的运行速度进行合理性设定，以达到生产工艺的要求。

对设备进行全方位的安全保护步骤，机械手急停、系统急停、机械手上下极限、左右极限开关启动步骤。

对设备手动运行步骤，通过按钮按照管路图设定画面对设备准备完成监视，每个槽体各种功能监视，包括液位，操盖状态，机械手到位状态，泵和阀门的启停，加热器的启停，报警显示，报警记录。

全自动化SE电池量产腐蚀装置，包括：自动上料装置或自动下料装置、慢提拉槽1、第一喷淋槽2、第一超声波清洗槽3、第二超声波清洗槽4、第二喷淋槽5、第一碱洗槽6、第三喷淋槽7、第二碱洗槽8、QDR槽9、第一酸腐蚀槽10、第二酸腐蚀槽11、自动上料装置或自动下料装置依次顺序排列和连接。