[发明专利]一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法

权利要求书

1.一种全自动化SE电池量产腐蚀装置及加工方法，其特征在于含有以下步骤：

步骤1、自动上料被处理物硅片；

步骤2、被处理物硅片进入2#酸腐蚀槽；

步骤3、被处理物硅片进入3#酸腐蚀槽；

步骤4、被处理物硅片进入4#QDR槽；

步骤5、被处理物硅片进入5#碱洗槽；

步骤6、被处理物硅片进入6#喷淋槽；

步骤7、被处理物硅片进入7#碱洗槽；

步骤8、被处理物硅片进入8#喷淋槽；

步骤9、被处理物硅片进入9#超声波清洗槽；

步骤10、被处理物硅片进入10#超声波清洗槽；

步骤11、被处理物硅片进入11#喷淋槽；

步骤12、被处理物硅片进入12#慢提拉槽；

步骤13、被处理物硅片进入13#自动下料；

上述步骤中腐蚀槽的碱洗药液自动循环并鼓泡，确保药液的均匀；

对腐蚀槽、碱洗、IPA工艺槽上、侧部设计排风管路，保持设备内部工作环境清洁，防止交叉污染。

2.根据权利要求1所述的一种全自动化SE电池量产腐蚀加工方法，其特征在于还含有以下步骤：

液位、温度等参数检测步骤；

液位：对槽体的液位补液箱的液位和加热箱的液位进行时时控制起到保护作用；

温度：对槽体的温度补液箱的温度和加热箱的温度进行时时控制起到保护作用；

自动、手动操作转换步骤；

手动步骤：可以对每各阀门，泵，电机，加热器单独启动，对机械手可以手动纵向和横向到达任意位置；

自动步骤：对每个槽体自动补液，温度自动调节，液位自动调节，机械手自动在槽体之间运送花篮，机械手到达每个槽工位时槽盖将会自动开启，离开时槽盖将会自动关闭；

时间、温度、搬送速度数字化设定步骤；

可以对时间、温度和机械手的运行速度进行合理性设定，以达到生产工艺的要求；

对设备进行全方位的安全保护步骤，机械手急停、系统急停、机械手上下极限、左右极限开关启动步骤；

对设备手动运行步骤，通过按钮按照管路图设定画面对设备准备完成监视，每个槽体各种功能监视，包括液位，操盖状态，机械手到位状态，泵和阀门的启停，加热器的启停，报警显示，报警记录。

3.一种全自动化SE电池量产腐蚀装置，其特征在于自动上料装置或自动下料装置、慢提拉槽、第一喷淋槽、第一超声波清洗槽、第二超声波清洗槽、第二喷淋槽、第一碱洗槽、第三喷淋槽、第二碱洗槽、QDR槽、第一酸腐蚀槽、第二酸腐蚀槽、自动上料装置或自动下料装置依次顺序排列和连接。