[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法有效
申请号: | 201210089282.8 | 申请日: | 2012-03-30 |
公开(公告)号: | CN102729141A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 石井智;深田顺平 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | B24B37/08 | 分类号: | B24B37/08;B24B37/26;B24B37/24;C09K3/14 |
代理公司: | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人: | 吴京顺;任晓航 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法,不需要较大地依赖于研磨剂的化学研磨作用,能够确保对于玻璃表面的高研磨率,该方法包括相对于玻璃基板主表面供给包含游离磨粒的研磨液的同时使研磨垫滑动接触来进行研磨的工序,在研磨垫表面上设置有相对于玻璃基板主表面滑动接触的滑动接触部和滑动接触部之间形成的槽,在每一平方米的研磨垫表面上形成的滑动接触部边缘长度的合计值为200m以上,且作为相对于整个研磨垫表面区域的滑动接触部区域的面积比率的填充率为80%以上。 | ||
搜索关键词: | 磁盘 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于,包括相对于玻璃基板主表面供给包含游离磨粒的研磨液的同时使研磨垫滑动接触来进行研磨的工序,在所述研磨垫表面上设置有相对于玻璃基板主表面滑动接触的滑动接触部和滑动接触部之间形成的槽,每一平方米的研磨垫表面上形成的滑动接触部边缘长度的合计值为200m以上,且作为相对于整个研磨垫表面区域的滑动接触部区域的面积比率的填充率为80%以上。
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