[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，

包括相对于玻璃基板主表面供给包含游离磨粒的研磨液的同时使研磨垫滑动接触来进行研磨的工序，

在所述研磨垫表面上设置有相对于玻璃基板主表面滑动接触的滑动接触部和滑动接触部之间形成的槽，

每一平方米的研磨垫表面上形成的滑动接触部边缘长度的合计值为200m以上，且作为相对于整个研磨垫表面区域的滑动接触部区域的面积比率的填充率为80％以上。

2.根据权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨垫的滑动接触部是在研磨垫表面上由相同形状的多个三角形区域组成。

3.根据权利要求1或2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨垫的滑动接触部是由发泡性聚氨酯树脂形成。

4.根据权利要求3所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述发泡性聚氨酯树脂的发泡孔口径为30～200μm。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述研磨工序利用具有安装所述研磨垫的上平台和下平台的行星齿轮结构，使玻璃基板夹在上平台和下平台之间，通过操作使上平台或下平台中的任意一个平台移动，或者使两个平台移动，由此对玻璃基板主表面进行研磨。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述游离磨粒为氧化锆磨粒。

7.根据权利要求1至6任意一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述磁盘用玻璃基板用于使用DFH磁头记录的磁盘的制造上。

8.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，该方法包括相对于玻璃基板主表面供给包含游离磨粒的研磨液的同时使研磨垫滑动接触来进行研磨的工序，

在所述研磨垫表面上设置有与玻璃基板主表面滑动接触的滑动接触部和滑动接触部之间形成的槽，

所述滑动接触部在所述研磨垫的表面中构成为多个三角形的区域。

9.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，用具有滑动接触部的研磨垫对玻璃基板进行研磨，在所述滑动接触部中在相同形状的四角形或六角形区域的各边和其对角线上形成有槽，由此所述滑动接触部由多个三角形区域形成。

10.根据权利要求2、8或9任一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述三角形区域为等腰直角三角形区域。

11.一种研磨垫，其特征在于，用于与磁盘用玻璃基板的玻璃基板主表面滑动接触而对该主表面进行研磨，

在所述研磨垫表面上设置有相对于玻璃基板主表面滑动接触的滑动接触部和在滑动接触部之间形成的槽，

在每一平方米的研磨垫表面上形成的滑动接触部边缘长度的合计值为200m以上，且作为相对于整个研磨垫表面区域的滑动接触部区域的面积比率的填充率为80％以上。