[发明专利]一种发光二极管及其制造方法无效
| 申请号: | 201210088308.7 | 申请日: | 2012-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN103367559A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
| 发明(设计)人: | 郝茂盛;张楠 | 申请(专利权)人: | 上海蓝光科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/38 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明提供一种发光二极管及其制造方法,通过在包括N-GaN层、量子阱层及的P-GaN层的发光外延结构上制作一层具有按预设图形排列的孔洞,并且与所述P-GaN层形成非欧姆接触的图形导电薄膜,然后在所述图形导电薄膜上制作透明导电层,使所述透明导电层通过所述孔洞与所述P-GaN层形成欧姆接触,然后制备电极等后续工艺以完成所述发光二极管的制造。由于所述图形导电薄膜与所述P-GaN层形成非欧姆接触,只作为电流的扩展层,使电流密度在LED芯片内均匀流过,可以提高LED的发光效率,并有效抑制LED的衰退现象。本发明制造工艺步骤简单,效果显著,适用于工业生产。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管的制造方法,其特征在于,至少包括步骤:1)提供一半导体衬底,并在所述半导体衬底上形成至少包括N‑GaN层、量子阱层及P‑GaN层的发光外延结构;2)在所述P‑GaN层上制作具有按预设图形排列的孔洞的图形导电薄膜,且使所述图形导电薄膜与所述P‑GaN层形成非欧姆接触;3)在所述图形导电薄膜及孔洞上制作透明导电层,并使所述透明导电层通过所述孔洞与所述P‑GaN层形成欧姆接触;4)制作P电极及N电极以完成所述发光二极管的制造。
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