[发明专利]太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201210087303.2 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102534501A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 袁玉珍;王辉;吴晓丽 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄博市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，使用高真空磁控溅射系统，高纯氩气为溅射气体，步骤：a）将基片乙醇擦拭、丙酮清洗；b）乙醇浸泡、去离子水冲洗；c）基片烘干；d）靶材与基片间距50mm；溅射功率为150W；溅射压强在2.5Pa；流量20cm3/min；溅射室的真空度为2.8×10-4Pa；溅射时间为45min。其优点是：Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构，薄膜的最小电阻率为1.05×10-3Ω﹒cm，可见光范围透过率超过92%。相对于氧化铟锡薄膜，Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜，价格低廉且性能优异，在硅基薄膜太阳电池领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳电池 掺杂 氧化锌 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，使用高真空多靶位磁控溅射系统，用室温循环水对其冷却降温，用99.999%高纯氩气作为溅射气体，其特征在于：包括如下步骤：a）将基片使用无水乙醇擦拭后，置于丙酮溶液内利用超声波清洗；b）使用无水乙醇浸泡后使用去离子水反复冲洗；c）将基片高温烘干，放入溅射室；所用靶材由ZnO、Al2O3和ZrO2混合烧结而成，ZnO、Al2O3和ZrO2的纯度均为99.99%，其中ZnO、Al2O3与ZrO2的质量分数分别为94%：1%：5%；d）调整靶材与基片，使之平行放置，两者之间距离在40mm～80mm；溅射功率为140～160W；溅射压强在2～3Pa；流量15～25 cm3/min；真空度为2.6～3×10‑4Pa；溅射时间为30～60min。
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