[发明专利]太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，使用高真空多靶位磁控溅射系统，用室温循环水对其冷却降温，用99.999%高纯氩气作为溅射气体，其特征在于：包括如下步骤：

a）将基片使用无水乙醇擦拭后，置于丙酮溶液内利用超声波清洗；

b）使用无水乙醇浸泡后使用去离子水反复冲洗；

c）将基片高温烘干，放入溅射室；所用靶材由ZnO、Al₂O₃和ZrO₂混合烧结而成，ZnO、Al₂O₃和ZrO₂的纯度均为99.99%，其中ZnO、Al₂O₃与ZrO₂的质量分数分别为94%：1%：5%；

d）调整靶材与基片，使之平行放置，两者之间距离在40mm～80mm；溅射功率为140～160W；溅射压强在2～3Pa；流量15～25 cm³/min；真空度为2.6～3×10^-4Pa；溅射时间为30～60min。

2.根据权利要求1所述的太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在所述步骤a）中，基片为25mm×50mm×1mm的载玻片，丙酮溶液为60℃，清洗时间为10min。

3.根据权利要求2所述的太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在所述步骤b）无水乙醇浸泡时间为20min。

4.根据权利要求1至3任一所述的太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在所述步骤c）中，基片烘干温度为150℃并保温6h。

5.根据权利要求4所述的太阳电池用共掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在所述步骤d）中，靶材与基片间距为50mm；溅射功率为150W；溅射压强在2.5Pa；流量20cm³/min；真空度为2.8×10^-4Pa；溅射时间为45min。