[发明专利]制法报告卡框架和方法

摘要

提供一种用于执行制法评估的计算机实现的方法。该计算机实现的方法包括将多个数据源集成到单个制法报告卡框架。该制法报告卡框架包括编辑器，用以与该多个数据源交互。该计算机实现的方法还包括显示多个图表显示。该多个图表显示的每个图表显示配置为表示用于至少一个基片的一组信号参数的一个信号参数。该计算机实现的方法进一步包括为该组信号参数的每个提供多个准则。该计算机实现的方法又包括为该组信号参数的每个提供多个范围。该计算机实现的方法又进一步包括提供专家级指导，其配置为提供制法分析中的指导。

主权项

一种用于执行制法评估的装置，所述装置包括：将多个数据源集成进单个制法报告卡框架的模块，所述制法报告卡框架包括编辑器，用以与所述多个数据源交互，所述多个数据源包括等离子处理环境数据，所述处理环境数据包括等离子处理工具数据；用于显示来自所述多个数据源的一组信号参数的多个图表显示的模块；用于提供用于该组信号参数的每个的多个准则的模块；用于提供用于该组信号参数的每个的多个范围的模块；和用于提供专家级指导的模块，所述专家级指导配置为在分析制法中提供指导；用于提供包括多个帮助片段的帮助区域的模块；和用于提供对用户点击所述帮助区域中的帮助片段作出响应的帮助对话框的模块，所述帮助对话框提供所述多个准则中的一个或多个的状态的一个或多个原因，所述一个或多个原因是至少来源于半导体工业标准和半导体工业工具制造的专家级知识的集合。