[发明专利]冷却装置的运转方法以及检查装置有效
| 申请号： | 201210066539.8 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102692938A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 八田政隆 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D23/27 | 分类号： | G05D23/27;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够降低使用于检查装置中的冷却装置的消耗能量的冷却装置的运转方法以及检查装置。本发明的冷却装置的运转方法是以下方法：在能够通过冷却装置(13)和加热装置(14)进行温度调节的晶圆卡盘(11)上载置半导体晶圆(W)，在控制装置(15)的控制下进行半导体晶圆(W)的低温检查以及半导体晶圆(W)的高温检查时，在控制装置(15)的控制下控制对晶圆卡盘(11)进行冷却的冷却装置，在进行低温检查时通过控制装置(15)使冷却装置(13)连续地运转，在进行高温检查时，通过控制装置(15)使冷却装置(13)至少与高温检查的开始相应地停止一次。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 运转 方法 以及 检查 | ||
【主权项】：
一种冷却装置的运转方法，用于当在能够通过冷却装置和加热装置进行温度调节的载置台上载置被检查体并在控制装置的控制下对上述被检查体进行低温检查以及对上述被检查体进行高温检查时，在控制装置的控制下控制对上述载置台进行冷却的冷却装置，该冷却装置的运转方法的特征在于，在进行上述低温检查时通过上述控制装置使上述冷却装置连续地运转，在进行上述高温检查时通过上述控制装置使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。
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