[发明专利]冷却装置的运转方法以及检查装置有效
| 申请号： | 201210066539.8 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102692938A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 八田政隆 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D23/27 | 分类号： | G05D23/27;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 运转 方法 以及 检查 | ||
1.一种冷却装置的运转方法，用于当在能够通过冷却装置和加热装置进行温度调节的载置台上载置被检查体并在控制装置的控制下对上述被检查体进行低温检查以及对上述被检查体进行高温检查时，在控制装置的控制下控制对上述载置台进行冷却的冷却装置，该冷却装置的运转方法的特征在于，
在进行上述低温检查时通过上述控制装置使上述冷却装置连续地运转，在进行上述高温检查时通过上述控制装置使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。
2.一种冷却装置的运转方法，用于当在能够通过冷却装置和加热装置进行温度调节的载置台上载置被检查体并在控制装置的控制下对上述被检查体进行低温检查以及对上述被检查体进行高温检查时，在设置于上述冷却装置中的专用控制装置的控制下控制对上述载置台进行冷却的冷却装置，该冷却装置的运转方法的特征在于，
在进行上述低温检查时通过上述专用控制装置使上述冷却装置连续地运转，在进行上述高温检查时通过上述专用控制装置使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。
3.根据权利要求1或2所述的冷却装置的运转方法，其特征在于，
在上述高温检查结束之前，使上述冷却装置间歇地运转和停止。
4.一种检查装置，其具备：
载置台，其载置被检查体并能够进行温度调节；
加热装置，其加热上述载置台；
冷却装置，其冷却上述载置台；以及
控制装置，其控制上述加热装置和上述冷却装置，
该检查装置通过上述控制装置对上述冷却装置和上述加热装置进行控制来对上述被检查体进行低温检查和高温检查，
该检查装置的特征在于，上述控制装置进行控制，使得在进行上述高温检查时使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。
5.一种检查装置，其具备：
载置台，其载置被检查体并能够进行温度调节；
加热装置，其加热上述载置台；
冷却装置，其冷却上述载置台；以及
控制装置，其控制上述加热装置和上述冷却装置，
该检查装置通过上述控制装置对上述冷却装置和上述加热装置进行控制来对上述被检查体进行低温检查和高温检查，
该检查装置的特征在于，在上述冷却装置中设置专用控制装置，上述专用控制装置进行控制，使得在进行上述高温检查时使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。
6.根据权利要求4或5所述的检查装置，其特征在于，
在上述高温检查结束之前，使上述冷却装置间歇地运转和停止。
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