[发明专利]冷却装置的运转方法以及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够进行高温检查以及低温检查的检查装置，更详细地说涉及一种能够节省使用于检查装置中的冷却装置的消耗能量的冷却装置的运转方法以及检查装置。

背景技术

例如图4所示，以往的检查装置具备：加载室L，其用于输送半导体晶圆W；探针室P，其用于对从加载室L输送的半导体晶圆W进行电特性检查；以及控制装置(未图示)，以往的检查装置构成为：在控制装置的控制下，将半导体晶圆W从加载室L输送到探针室P，在探针室P内进行半导体晶圆W的电特性检查之后，使半导体晶圆W返回。

如图4所示，探针室P具备：晶圆卡盘1，其载置半导体晶圆W并且能够进行温度调节；XY台2，其使晶圆卡盘1在X、Y方向上移动；探针卡3，其被配置于通过该XY台2进行移动的晶圆卡盘1的上方；以及对准机构4，其使探针卡3的多个探针3A与晶圆卡盘1上的半导体晶圆W的多个电极焊盘正确地进行位置对准。

另外，如图4所示，在探针室P的顶板5上以可旋转的方式配置有测试器的测试头T，测试头T与探针卡3通过性能板(未图示)进行电连接。并且，关于晶圆卡盘1上的半导体晶圆W，例如在低温区域至高温区域之间设定半导体晶圆W的检查温度，将测试器的信号通过测试头T发送给探针3A，对半导体晶圆W进行低温检查或高温检查。

在进行半导体晶圆W的低温检查的情况下，如图4所示，通常使用与晶圆卡盘1相连结的冷却装置6将制冷剂冷却为规定的温度，使该制冷剂在晶圆卡盘1内的制冷剂通路中循环而将半导体晶圆W例如冷却至负的数十摄氏度的低温区域。本申请人在专利文献1中提出了一种冷却加热装置，该冷却加热装置能够将在晶圆卡盘1中循环的制冷剂始终保持为固定的温度。在该冷却加热装置中，使用斯特林冷冻机的初级制冷剂对在晶圆卡盘中循环的次级制冷剂进行冷却和加热来将次级制冷剂维持为规定的负区域的温度，与目前的冷却装置相比冷却回路较简单。

另外，在专利文献2中记载了使用于真空处理装置中的冷却装置。在该冷却装置中，并非如专利文献1的技术那样使用次级制冷剂对冷却对象物(真空室的喷淋板)进行冷却，而是使用初级制冷剂直接冷却喷淋板。

专利文献1：日本特开2006-060361号公报

专利文献2：日本特开2006-308273号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1所记载的冷却装置中，不区分检查装置中的低温检查、高温检查而在检查装置运转的同时驱动冷却装置，在进行高温检查时也具备冷却检查，即在冷却装置中始终保持冷却为规定的低温的次级制冷剂，因此在进行高温检查期间也存在由于冷却装置运转引起的能量消耗，对于节能来说不理想。

另一方面，在专利文献2的技术中，设置成仅用于冷却真空室的喷淋板，并非检查装置那样分开使用高温与低温，因此不存在检查装置那样的问题。

本发明是用于解决上述问题而完成的，目的在于提供一种能够节省使用于检查装置中的冷却装置的消耗能量的冷却装置的运转方法以及检查装置。

用于解决问题的方案

本发明的第一发明涉及一种冷却装置的运转方法，用于当在能够通过冷却装置和加热装置进行温度调节的载置台上载置被检查体并在控制装置的控制下对上述被检查体进行低温检查以及对上述被检查体进行高温检查时，在控制装置的控制下控制对上述载置台进行冷却的冷却装置，该冷却装置的运转方法的特征在于，在进行上述低温检查时通过上述控制装置使上述冷却装置连续地运转，在进行上述高温检查时通过上述控制装置使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。

另外，本发明的第二发明涉及一种冷却装置的运转方法，用于当在能够通过冷却装置和加热装置进行温度调节的载置台上载置被检查体并在控制装置的控制下对上述被检查体进行低温检查以及对上述被检查体进行高温检查时，在设置于上述冷却装置中的专用控制装置的控制下控制对上述载置台进行冷却的冷却装置，该冷却装置的运转方法的特征在于，在进行上述低温检查时通过上述专用控制装置使上述冷却装置连续地运转，在进行上述高温检查时通过上述专用控制装置使上述冷却装置至少与上述高温检查的开始相应地停止一次。

另外，本发明的第三发明所涉及的冷却装置的运转方法的特征在于，在上述第一发明或者第二发明所记载的发明中，在上述高温检查结束之前，使上述冷却装置间歇地运转和停止。