[发明专利]蒸发源及蒸镀装置无效
| 申请号： | 201210058800.X | 申请日： | 2012-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102676999A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 峰川英明;松浦宏育;矢崎秋夫;福田浩;三宅龙也 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 黄永杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源和蒸镀装置，其发明目的在于隔断坩埚的辐射热而且不在喷嘴产生堵塞，本发明的蒸发源(1)具有喷嘴(12)、反射器(6)以及罩构件(8)，该喷嘴(12)按从对蒸镀材料(M)进行加热而使其蒸发的坩埚(5)突出的方式设置，朝基板(2)喷射蒸发了的蒸镀材料(M)；该反射器(6)具有并列地配置的多个金属板(15)，使得这些多个金属板(15)中的最接近基板(2)的金属板(15)设在比喷嘴(12)的喷嘴前端面(13)更接近基板(2)的位置；该罩构件(8)与构成反射器(6)的多个金属板(15)中的一部分一体地构成，将喷嘴(12)与反射器(6)之间闭塞。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源，其具有喷射部、隔热单元以及防镀单元，该喷射部设在对蒸镀材料进行加热而使其蒸发的蒸发单元上，朝被蒸镀体喷射蒸发了的上述蒸镀材料；该隔热单元具有并列地配置的多个金属板，将该金属板中的最接近上述被蒸镀体的金属板设置在比上述喷射部的前端面更接近上述被蒸镀体的位置；该防镀单元与构成上述隔热单元的多个金属板中的一部分一体地构成，将上述喷射部与上述隔热单元之间闭塞。
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