[发明专利]蒸发源及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸发源，其具有喷射部、隔热单元以及防镀单元，

该喷射部设在对蒸镀材料进行加热而使其蒸发的蒸发单元上，朝被蒸镀体喷射蒸发了的上述蒸镀材料；

该隔热单元具有并列地配置的多个金属板，将该金属板中的最接近上述被蒸镀体的金属板设置在比上述喷射部的前端面更接近上述被蒸镀体的位置；

该防镀单元与构成上述隔热单元的多个金属板中的一部分一体地构成，将上述喷射部与上述隔热单元之间闭塞。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：

上述防镀单元使用构成上述隔热单元的多个金属板中的一个金属板构成。

3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于：

上述防镀单元构成为这样的凹状，该凹状为上述蒸发单元侧的开口面积最窄，并且开口面积朝上述被蒸镀体侧逐渐变宽。

4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于：

使得上述喷射部的前端面比上述防镀单元的最基端侧的部位更突出。

5.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于：

使得上述防镀单元的最前端侧的部位比收容上述隔热单元的壳体单元的与上述被蒸镀体相向的面更突出。

6.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于：

构成上述防镀单元的金属板使用如下的金属板构成：构成上述隔热单元的金属板中的、具有上述蒸镀材料不固化的温度而且具有其中最低的温度的金属板。

7.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于：

使上述喷射部的前端面处在构成上述隔热单元的多个金属板中的具有上述蒸镀材料不固化的温度的金属板的位置。

8.一种蒸镀装置，其特征在于：该蒸镀装置配置有权利要求1～7中任何一项所述的蒸发源。