[发明专利]功率半导体模块及制造功率半导体模块的方法无效

专利信息
申请号: 201210046920.8 申请日: 2012-02-17
公开(公告)号: CN102646667A 公开(公告)日: 2012-08-22
发明(设计)人: 柳春雷;N·舒尔茨;S·基辛 申请(专利权)人: ABB研究有限公司
主分类号: H01L23/62 分类号: H01L23/62;H01L23/488;H01L23/051;H01L25/07;H01L21/50
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 汤春龙;朱海煜
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明名称为功率半导体模块及制造功率半导体模块的方法,涉及功率半导体模块,包括半导体器件(12),尤其是绝缘栅双极晶体管、反向导电绝缘栅双极晶体管或双模绝缘栅晶体管,具有发射电极和集电极,将导电上层(14)烧结到发射电极,上层(14)至少部分地能够与半导体器件(12)的半导体形成共晶体,且至少部分地具有如下热膨胀系数:与半导体的热膨胀系数相差的范围是≤250%、尤其是≤50%,以及将导电基板(20)烧结到集电极。半导体模块(10)还包括与基板(20)电隔离且经由直接电连接(22)连接到上层(14)的导电区(24)。根据本发明的半导体模块易于制备,具有改进可靠性且呈现短路故障模式能力。
搜索关键词: 功率 半导体 模块 制造 方法
【主权项】:
一种功率半导体模块,包括半导体器件(12),尤其是绝缘栅双极晶体管、反向导电绝缘栅双极晶体管或者双模绝缘栅晶体管,其具有发射电极和集电极,其中导电上层(14)通过烧结接合连接到发射电极,所述上层(14)的材料至少部分地能够与所述半导体器件(12)的材料形成共晶体,并且所述上层(14)至少部分地具有如下热膨胀系数:该热膨胀系数与所述半导体器件的热膨胀系数相差的范围是≤250%、尤其是≤50%,以及其中导电基板(20)通过另一个烧结接合连接到所述集电极,以及其中所述功率半导体模块(10)还包括与所述基板(20)电绝缘并且经由直接电连接(22)连接到所述上层(14)的导电区(24)。
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