[发明专利]磁铁块固定装置及磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法有效
| 申请号： | 201210041115.6 | 申请日： | 2012-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103293860A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王茜;边旭;陈文枢 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁铁块固定装置以及磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法。所述磁铁块固定装置包括用于固定所述磁铁安装座的基座、以及固定在该基座上面的法兰座，所述法兰座上面安装有固定座和模具；还包括固定片。磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法利用了上述固定装置，在安装时，每排磁铁块分第一和第二部分依次安装在圆筒形的磁铁安装座上，且安装完成后磁铁块分上下多排排布在磁铁安装座的内圆周面上。本发明适用于小尺寸磁铁块的精密定位及安装，尤其适用于轴向设置两排磁铁块的磁浮重力补偿器。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 固定 装置 重力 补偿 安装 方法 | ||
【主权项】：
一种磁铁块固定装置，用于在磁浮重力补偿器中安装圆弧形的磁铁块(3)，所述磁浮重力补偿器具有圆筒形的磁铁安装座(1)，安装完成后所述磁铁块(3)位于磁铁安装座(1)内圆周面上，其特征在于：所述磁铁块固定装置包括固定所述磁铁安装座(1)的基座(2)、以及固定在该基座上面的法兰座(4)，所述法兰座(4)上面安装有固定座(6)和模具(5)；还包括固定片(7)。
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