[发明专利]磁铁块固定装置及磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种磁铁块固定装置，以及运用该固定装置在磁浮重力补偿器中安装磁铁块的方法。

背景技术

应用于纳米精度半导体光刻设备中的精密运动台，常应用小型重力补偿器隔离机器振动、平衡微动台载重。这种设备一般有气浮及磁浮两种形式。磁浮重力补偿器，对加工精度要求较低、管路简单、占用空间小，得到越来越广泛的应用。在磁浮重力补偿器中，定子永久磁铁通常固定粘结于圆筒形定子座的内圆周面上。磁铁安装精度直接影响磁浮重力补偿器整体性能，这包括磁浮重力补偿器的输出力、输出扭矩及工作平稳性。为使磁浮重力补偿器提供良好的磁力线分布，要求磁铁水平向及垂向定位精准。磁铁异性磁极存在引力，在粘贴安装过程中，很难实现多块磁铁的同时粘贴，单块逐次粘贴又会造成工时浪费。

常用的磁铁安装方法是在定子壳体上加工出凸起或凹槽，利用游标卡尺或千分表等测量、定位，将磁铁直接粘于壳体上，此方法无法使磁铁块精确定位，无法实现多块磁铁的同时粘贴。

发明专利“具有永久磁铁的场磁铁电动机和永久磁铁的固定方法”(申请号：01104778.X，近藤浩章)提出了一种具有永久磁铁的场磁铁电动机，它能够在将永久磁铁粘接于定子壳体内圆周面上时防止多余粘合剂被压出并从永久磁铁的周缘滴下，并防止压出的粘合剂从永久磁铁径向朝内突出，尤其适合使用高磁通密度的薄型永久磁铁。此永久磁铁固定方法无磁铁定位装置，不能使磁铁块精确定位；无法实现多块磁铁的同时粘贴。

发明内容

本发明目的是：针对上述问题，提出一种磁铁块固定装置及磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法，本发明适用于小尺寸磁铁块的精密定位及安装，适用于轴向设置多排(特别是两排)磁铁块的磁浮重力补偿器。

本发明的技术方案是：一种磁铁块固定装置，用于在磁浮重力补偿器中安装圆弧形的磁铁块，所述磁浮重力补偿器具有圆筒形的磁铁安装座，安装完成后所述磁铁块位于磁铁安装座内圆周面上，所述磁铁块固定装置包括固定所述磁铁安装座的基座、以及固定在该基座上面的法兰座，所述法兰座上面安装有固定座和模具；还包括固定片。

所述固定座上制有与固定片配合的楔面。

所述固定片与所述固定座配合固定所述磁铁块。

所述磁铁安装座与基座通过螺钉及定位销固定，所述法兰座通过螺钉及定位销装在基座上，所述固定座通过螺钉装在法兰座上，所述模具通过螺钉及定位销装在法兰座上。

所述模具与法兰座之间设有连接座，模具与连接座之间、法兰座与连接座之间均通过螺钉及定位销固定安装。

一种磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法，使用了如上述的磁铁块固定装置，其特征在于包括以下步骤：

步骤一：将磁铁安装座通过螺钉及定位销安装在基座上；

步骤二：将法兰座通过螺钉及定位销安装在基座的第一安装位上；

步骤三：将固定座、模具通过螺钉安装在法兰座上；

步骤四：将第一部分磁铁块涂胶，放置在模具与磁铁安装座之间；

步骤五：将固定片放置在固定座与所述第一部分磁铁块之间，使所述第一部分磁铁块固定；

步骤六：待所述第一部分磁铁块与磁铁安装座完全黏合，依次取下固定片、模具。

还包括以下步骤：

步骤七：将法兰座通过螺钉及定位销安装在基座的第二安装位上；

步骤八：将第二部分磁铁块涂胶，放置在所述第一部分磁铁块之间的空隙间；

步骤九：将固定片放置在固定座与所述第二部分磁铁块之间，使所述第二部分磁铁块固定；

步骤十：待所述第二部分磁铁块与磁铁安装座完全黏合，依次取下固定片、固定座，完成磁铁安装座内圆周面上底排的磁铁安装。

重复步骤一至十，将所述步骤二中的法兰座安装在基座的第三安装位上；在所述步骤四中法兰座之上增设连接座，将固定座、模具通过螺钉安装在连接座上；将所述步骤八中法兰座安装在基座的第四安装位上；完成磁铁安装座内圆周面上上排的磁铁块安装。

本发明的优点是：本发明利用一种特殊的磁铁块固定装置，同时提供一种利用所述固定装置将圆弧形磁铁块分几部分依次安装在磁铁安装座上的方法，具有以下优点：

1、提高磁浮重力补偿器的磁铁定位精度，为其提供良好的磁力线分布；

2、可实现多块磁铁的同时粘贴，缩短磁铁粘贴工时；

3、方法设计符合实际加工制造的情况，安装时所利用的辅助工件拆装方便，可重复使用。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍：