[发明专利]磁铁块固定装置及磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法有效
申请号: | 201210041115.6 | 申请日: | 2012-02-22 |
公开(公告)号: | CN103293860A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 王茜;边旭;陈文枢 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁铁 固定 装置 重力 补偿 安装 方法 | ||
1.一种磁铁块固定装置,用于在磁浮重力补偿器中安装圆弧形的磁铁块(3),所述磁浮重力补偿器具有圆筒形的磁铁安装座(1),安装完成后所述磁铁块(3)位于磁铁安装座(1)内圆周面上,其特征在于:所述磁铁块固定装置包括固定所述磁铁安装座(1)的基座(2)、以及固定在该基座上面的法兰座(4),所述法兰座(4)上面安装有固定座(6)和模具(5);还包括固定片(7)。
2.根据权利要求1所述的磁铁块固定装置,其特征在于:所述固定座(6)上制有与固定片(7)配合的楔面。
3.根据权利要求2所述的磁铁块固定装置,其特征在于:所述固定片与所述固定座(6)配合固定所述磁铁块(3)。
4.根据权利要求1或2或3所述的磁铁块固定装置,其特征在于:所述磁铁安装座(1)与基座(2)通过螺钉及定位销固定,所述法兰座(4)通过螺钉及定位销装在基座(2)上,所述固定座(6)通过螺钉装在法兰座(4)上,所述模具通过螺钉及定位销装在法兰座(4)上。
5.根据权利要求4所述的磁铁块固定装置,其特征在于:所述模具与法兰座(4)之间设有连接座(8),模具与连接座之间、法兰座与连接座之间均通过螺钉及定位销固定安装。
6.一种磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法,使用了如上述任意一项权利要求所述的磁铁块固定装置,其特征在于包括以下步骤:
步骤一:将磁铁安装座通过螺钉及定位销安装在基座上;
步骤二:将法兰座通过螺钉及定位销安装在基座的第一安装位上;
步骤三:将固定座、模具通过螺钉安装在法兰座上;
步骤四:将第一部分磁铁块涂胶,放置在模具与磁铁安装座之间;
步骤五:将固定片放置在固定座与所述第一部分磁铁块之间,使所述第一部分磁铁块固定;
步骤六:待所述第一部分磁铁块与磁铁安装座完全黏合,依次取下固定片、模具。
7.一种如权利要求6所述的磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法,其特征在于还包括以下步骤:
步骤七:将法兰座通过螺钉及定位销安装在基座的第二安装位上;
步骤八:将第二部分磁铁块涂胶,放置在所述第一部分磁铁块之间的空隙间;
步骤九:将固定片放置在固定座与所述第二部分磁铁块之间,使所述第二部分磁铁块固定;
步骤十:待所述第二部分磁铁块与磁铁安装座完全黏合,依次取下固定片、固定座,完成磁铁安装座内圆周面上底排的磁铁安装。
8.一种如权利要求7所述的磁浮重力补偿器中磁铁块的安装方法,其特征在于:重复步骤一至步骤十,将所述步骤二中的法兰座安装在基座的第三安装位上;在所述步骤四中法兰座之上增设连接座,将固定座、模具通过螺钉安装在连接座上;将所述步骤八中法兰座安装在基座的第四安装位上;完成磁铁安装座内圆周面上上排的磁铁块安装。
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