[发明专利]一种用于抬升衬底的顶杆组件

摘要

一种用于抬升衬底的顶杆组件，所述顶杆组件包括顶杆以及用于引导所述顶杆作轴向移动的导向装置，所述导向装置包括支架以及安装在所述支架上的多个导向机构，所述多个导向机构围绕所述顶杆的设置，限制所述顶杆的位置；所述导向装置还包括调整机构，所述调整机构至少控制一个所述的导向机构，用于调整该导向机构沿所述顶杆径向与所述顶杆间的距离。本发明通过在顶杆的周围设置多个导向机构，从而引导顶杆轴向移动，克服顶杆发生偏移并导致其折断等现象的发生。而所述调整机构设置不仅使得本发明可适用于不同的粗细的顶杆，而且还可通过所述调整机构控制该导向机构与顶杆间保留的距离有效避免因顶杆形变而导致的顶杆无法顺畅下落等问题。

主权项

一种用于抬升衬底的顶杆组件，所述顶杆组件包括顶杆以及用于引导所述顶杆作轴向移动的导向装置；所述导向装置包括支架以及安装在所述支架上的多个导向机构，所述多个导向机构围绕所述顶杆设置，限制所述顶杆的位置，其特征在于，所述导向装置还包括调整机构，所述调整机构至少控制一个所述的导向机构，用于调整该导向机构沿所述顶杆径向与所述顶杆间的距离。