[发明专利]一种用于抬升衬底的顶杆组件

权利要求书

1.一种用于抬升衬底的顶杆组件，所述顶杆组件包括顶杆以及用于引导所述顶杆作轴向移动的导向装置；所述导向装置包括支架以及安装在所述支架上的多个导向机构，所述多个导向机构围绕所述顶杆设置，限制所述顶杆的位置，其特征在于，

所述导向装置还包括调整机构，所述调整机构至少控制一个所述的导向机构，用于调整该导向机构沿所述顶杆径向与所述顶杆间的距离。

2.如权利要求1所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述支架包括沿所述顶杆轴向设置的穿通孔，所述顶杆至少部分设置在所述穿通孔中，所述多个导向机构设置在所述穿通孔的孔壁上。

3.如权利要求2所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构控制的导向机构至少包括一个滚轮；所述滚轮引导所述顶杆作轴向移动。

4.如权利要求3所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构控制所述滚轮移动，从而调整所述滚轮与其余导向机构间的距离。

5.如权利要求4所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，在所述支架上，设有贯穿所述孔壁的窗口；所述滚轮安装在所述窗口中。

6.如权利要求5所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构控制的导向机构还包括一滚轴，所述滚轮安装在所述滚轴上；且在所述支架上，位于所述窗口的两侧开设有用于放置所述滚轮的切除部。

7.如权利要求6所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构包括一调整板和一定位装置，所述调整板通过所述定位装置设置于所述孔壁外表面；所述定位装置调整所述调整板相对所述支架移动，并带动所述滚轴移动从而调整所述滚轮与所述顶杆间的距离。

8.如权利要求7所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述滚轴的一端抵于所述调整板。

9.如权利要求8所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构还包括弹性定位装置；所述调整机构控制的导向机构通过所述弹性定位装置与所述支架连接。

10.如权利要求9所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述弹性定位装置包括弹簧片、弹簧垫或弹性材料层；所述弹簧片、弹簧垫或弹性材料层安装于所述切除部内，且位于所述滚轴与支架的间隙之间。

11.如权利要求8所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构还包括弹性定位装置；所述弹性定位装置包括弹簧片、弹簧垫或弹性材料层；所述滚轴的另一端抵于所述支架，且所述滚轴与调整板之间设有所述弹性定位装置。

12.如权利要求9所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述弹性定位装置包括一个安装在所述支架上的轴承，所述轴承与所述支架间设有弹簧片、弹簧垫或弹性材料层；所述滚轴插于所述轴承内，而所述轴承固定于所述切除部内。

13.如权利要求7所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述滚轴的一端连接所述调整板。

14.如权利要求13所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整板设有固定轴套或开设凹孔；所述滚轴一端装于所述固定轴套或是凹孔中，从而与所述调整板连接。

15.如权利要求14所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述固定轴套或凹孔与所述滚轴相接触的内侧表面设有凹槽，且所述凹槽内装有滚珠。

16.如权利要求14所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述固定轴套或凹孔的内径大于所述滚轴的外径，且在所述固定轴套或凹孔与滚轴之间设有复位装置。

17.如权利要求16所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述复位装置为弹簧片、弹簧垫或弹性材料层。

18.如权利要求13所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述导向机构的滚轴一端设有一曲面凸块；所述调整板上开设有与所述滚轴的曲面凸块结构相配的凸块凹孔，所述滚轴的曲面凸块装于所述凸块凹孔内，与所述调整板连接。

19.如权利要求18所述的用于抬升衬底的顶杆组件，其特征在于，所述调整机构还包括一个固定在所述支架上的定位轴套；所述滚轴另一端插于所述定位轴套内，且所述定位轴套内径大于所述滚轴直径。