[发明专利]基板成膜检查装置无效
| 申请号： | 201210013362.5 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN103134806A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李淳钟;禹奉周;朴炳澯 | 申请（专利权）人： | 塞米西斯科株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板成膜检查装置，这种本发明构成用于检查涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分的水平及垂直距离是否恒定的装置，据此能够有效地检查出难以用肉眼识别的涂布于基板表面的成膜的歪斜不良，同时能够防止在经过处理室完成LCD或OLED产品的制造的状态下因成膜歪斜而引起的显示不良。 | ||
| 搜索关键词： | 基板成膜 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种基板成膜检查装置，其特征在于，包括：检查台；照明模块，布置于所述检查台的下端，以用于当涂布有成膜的基板经过所述检查台时向所述基板照射光源；相机模块，布置于所述照明模块的上端，以用于当从所述照明模块向基板照射光源时，拍摄所述基板的表面和横向部边缘以及纵向部边缘；以及检查单元，控制所述照明模块和所述相机模块的动作，并从由所述相机模块拍摄的图像信息检查涂布于基板表面的成膜与基板的横向部边缘以及纵向部边缘的距离是否分别为正常范围内的距离。
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