[发明专利]基板成膜检查装置

权利要求书

1.一种基板成膜检查装置，其特征在于，包括：

检查台；

照明模块，布置于所述检查台的下端，以用于当涂布有成膜的基板经过所述检查台时向所述基板照射光源；

相机模块，布置于所述照明模块的上端，以用于当从所述照明模块向基板照射光源时，拍摄所述基板的表面和横向部边缘以及纵向部边缘；以及

检查单元，控制所述照明模块和所述相机模块的动作，并从由所述相机模块拍摄的图像信息检查涂布于基板表面的成膜与基板的横向部边缘以及纵向部边缘的距离是否分别为正常范围内的距离。

2.如权利要求1所述的基板成膜检查装置，其特征在于，所述相机模块为用于以行扫描方式对移动的基板的表面和横向部边缘以及纵向部边缘进行拍摄的行扫描相机。

3.如权利要求1所述的基板成膜检查装置，其特征在于，所述照明模块为氙气灯、卤素灯、高频荧光灯、发光二极管照明器中的任意一个。

4.如权利要求1所述的基板成膜检查装置，其特征在于，所述检查单元搭载有检查程序，该检查程序用于从由相机模块拍摄的图像信息计算出涂布于基板表面的成膜与基板的横向部边缘以及纵向部边缘的距离之后，将其计算值与正常范围基准值进行比较计算，以检查是否正常或歪斜不良。

5.如权利要求4所述的基板成膜检查装置，其特征在于，所述检测单元内已储存有针对涂布于所述基板表面的成膜与基板的横向部边缘以及纵向部边缘的距离的正常范围基准值。

6.如权利要求5所述的基板成膜检查装置，其特征在于，涂布于所述基板表面的成膜与基板的横向部边缘的距离通过对从图像信息测定的成膜与横向部边缘之间的像素数乘以每像素的基准长度而算出，

涂布于所述基板表面的成膜与基板的纵向部边缘的距离通过对从图像信息测定的成膜与纵向部边缘之间的像素数乘以每像素的基准长度而算出。