[发明专利]基板成膜检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及检查成膜(例如，聚酰亚胺)的不良与否的技术，该成膜涂布于用在有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)或液晶显示器的基板(以下称为“基板”)的表面上，尤其涉及能够通过测量涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分之间的距离来检查涂布于基板表面的成膜的歪斜不良的基板成膜检查装置。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示装置大体由用于形成薄膜晶体管的下部基板和用于形成滤色器的上部基板以及注入于下部基板与上部基板之间的液晶构成，制造所述液晶显示装置的工艺可分为薄膜晶体管(TFT)工序、单元(cell)工序、模块工序这三个部分。

所述TFT工序与半导体制造工序非常相似，是一种通过反复进行蒸镀工序(deposition)和光刻工序(photolithography)以及蚀刻工序而将薄膜晶体管排列到基板上进行制造的工序。

所述单元工序中，在TFT下板和形成有滤色器(Color filter)的上板形成配向膜，并配向为使液晶在配向膜上较好地排列之后，散布间隔物(Spacer)，并通过密封(seal)印刷进行贴合。贴合之后利用毛细管现象将液晶注入到内部，然后封住注入口，由此完成针对液晶显示装置的制造工艺。

所述模块工艺为确定最终传递给用户的产品品质的步骤，在所完成的面板上粘贴偏光板并贴装驱动集成电路(Driver-IC)之后，装配印刷电路板(Printed Circuit Board)，从而最终装配背光单元和结构件，由此完成液晶模块。

另外，OLED通过对上板和下板玻璃之间的各个单元蒸镀有机物质来制得，这种OLED具有能够在较低的电压下被驱动且能够制造成较薄的薄型的优点，而且具有较宽的视角和较快的响应速度，因此即使在一侧观看，画质也不会发生变化，且画面上也不会残留残像，这一点与一般的LCD不同。

并且，在小型画面方面，由于具有超出LCD的画质以及简单的制造工艺，因此具有有利的价格竞争力。

这种OLED对于彩色显示方式而言，具有三色(红、绿、蓝)独立像素方式、颜色转换方式(CCM)以及滤色方式，而根据用于显示器的发光材料分为低分子OLED和高分子OLED，根据驱动方式分为手动型驱动方式(passive matrix)和主动型驱动方式(active matrix)。

并且，OLED相比LCD、PDP，不仅在结构上更加简单，厚度更薄，而且还具有能够弯曲的特性，因此使得可挠式显示器的市场的前景更加光明。

此时，在制造所述LCD或OLED的基板的工艺中，对于涂布形成于所述基板表面的多个成膜而言，应当根据其涂布而整齐地排列，如果其排列发生不良，则存在基板的显示不良的问题。

即，在基板的表面上涂布成膜时，成膜与基板的边缘部分之间的水平以及垂直距离应当恒定，但是在基板的表面上涂布形成成膜时，经常会发生所涂布的所述成膜与基板边缘部分的水平及垂直距离歪斜而并不恒定的情况，而以往检查这种成膜的歪斜的装置并不存在。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种通过制造出检查涂布于基板表面的成膜与基板边缘部分的水平以及垂直距离是否恒定的装置，有效地检查涂布于基板表面的成膜的歪斜不良，且通过这种检查能够防止在经过处理室完成LCD或OLED产品的制造的状态下，因成膜位置不均而引起的显示不良的基板成膜检查装置。

为了实现上述目的，本发明的基板成膜检查装置包括：检查台；照明模块，布置于所述检查台的下端，以用于当涂布有成膜的基板经过所述检查台时向所述基板照射光源；相机模块，布置于所述照明模块的上端，以用于当从所述照明模块向基板照射光源时，拍摄所述基板的表面和横向部边缘以及纵向部边缘；以及检查单元，控制所述照明模块和所述相机模块的动作，并从由所述相机模块拍摄的图像信息检查涂布于基板表面的成膜与基板的横向部边缘以及纵向部边缘的距离是否分别为正常范围内的距离。

并且，所述相机模块为用于以行扫描方式对移动的基板的表面和横向部边缘以及纵向部边缘进行拍摄的行扫描相机。

并且，所述照明模块为氙气灯、卤素灯、高频荧光灯、发光二极管照明器中的任意一个。

并且，所述检查单元搭载有检查程序，该检查程序用于从由相机模块拍摄的图像信息计算出涂布于基板表面的成膜与基板的横向部边缘以及纵向部边缘的距离之后，将其计算值与正常范围基准值进行比较计算，以检查是否正常或歪斜不良。