[发明专利]研磨液组合物的制造方法有效
| 申请号: | 201180062469.2 | 申请日: | 2011-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN103270129A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
| 发明(设计)人: | 米田康洋;佐藤宽司 | 申请(专利权)人: | 花王株式会社 |
| 主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;B01D37/02;B24B37/04 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 龚敏 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 提供一种研磨液组合物的制造方法,其能够减少研磨后的被研磨物的划痕及颗粒。一种研磨液组合物的制造方法,其包括用进行过滤的过滤器对含有一次粒子的平均粒径为1~100nm的胶态二氧化硅的二氧化硅粒子分散液进行过滤处理,其中,前述进行过滤的过滤器含有用分子内具有9~200个阳离子性基团的多元胺化合物进行了阳离子化处理的硅藻土。 | ||
| 搜索关键词: | 研磨 组合 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种研磨液组合物的制造方法,其包括用进行过滤的过滤器对含有一次粒子的平均粒径为1~100nm的胶态二氧化硅的二氧化硅粒子分散液进行过滤处理的工序,所述进行过滤的过滤器含有用分子内具有9~200个阳离子性基团的多元胺化合物进行了阳离子化处理的硅藻土。
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