[发明专利]研磨液组合物的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180062469.2 申请日: 2011-12-21
公开(公告)号: CN103270129A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 米田康洋;佐藤宽司 申请(专利权)人: 花王株式会社
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;B01D37/02;B24B37/04
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 龚敏
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种研磨液组合物的制造方法,其能够减少研磨后的被研磨物的划痕及颗粒。一种研磨液组合物的制造方法,其包括用进行过滤的过滤器对含有一次粒子的平均粒径为1~100nm的胶态二氧化硅的二氧化硅粒子分散液进行过滤处理,其中,前述进行过滤的过滤器含有用分子内具有9~200个阳离子性基团的多元胺化合物进行了阳离子化处理的硅藻土。
搜索关键词: 研磨 组合 制造 方法
【主权项】:
一种研磨液组合物的制造方法,其包括用进行过滤的过滤器对含有一次粒子的平均粒径为1~100nm的胶态二氧化硅的二氧化硅粒子分散液进行过滤处理的工序,所述进行过滤的过滤器含有用分子内具有9~200个阳离子性基团的多元胺化合物进行了阳离子化处理的硅藻土。
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