[发明专利]研磨液组合物的制造方法有效
| 申请号： | 201180062469.2 | 申请日： | 2011-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103270129A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 米田康洋;佐藤宽司 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B01D37/02;B24B37/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 龚敏 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 制造 方法 | ||
1.一种研磨液组合物的制造方法，其包括用进行过滤的过滤器对含有一次粒子的平均粒径为1～100nm的胶态二氧化硅的二氧化硅粒子分散液进行过滤处理的工序，
所述进行过滤的过滤器含有用分子内具有9～200个阳离子性基团的多元胺化合物进行了阳离子化处理的硅藻土。
2.根据权利要求1所述的研磨液组合物的制造方法，其中，
所述多元胺化合物为聚亚烷基亚胺。
3.根据权利要求1或2所述的研磨液组合物的制造方法，其中，
所述多元胺化合物的数均分子量为400～9000。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨液组合物的制造方法，其中，
所述硅藻土的利用汞压入法获得的平均细孔径为0.1～3.5μm。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的研磨液组合物的制造方法，其中，
所述硅藻土的利用氮吸附法测定的0.15μm以下的累积细孔容积为0.3mL/g以上。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的研磨液组合物的制造方法，其中，
所述硅藻土的BET比表面积为4.0m2/g以上。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的研磨液组合物的制造方法，其包括制造所述进行过滤的过滤器的工序，所述进行过滤的过滤器含有进行了阳离子化处理的硅藻土。
8.一种研磨液组合物，其利用权利要求1～7中任一项所述的制造方法而制造。
9.一种进行过滤的过滤器，其含有用分子内具有9～200个阳离子性基团的多元胺化合物进行了阳离子化处理的硅藻土。
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