[发明专利]真空泵有效
申请号: | 201180060880.6 | 申请日: | 2011-12-19 |
公开(公告)号: | CN103261698A | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 大藤正干;桥本寿文;田中晋悟 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D27/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 真空泵具备:转子,其进行旋转来进行真空排气;泵分解检测电路,其检测真空泵被分解的分解状态;泵运转禁止电路,其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下,禁止转子的旋转驱动。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
一种真空泵,具备:转子,其进行旋转来进行真空排气;泵分解检测电路,其检测上述真空泵被分解的分解状态;以及泵运转禁止电路,其在判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下,禁止上述转子的旋转驱动。
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