[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测泵分解的真空泵。

背景技术

在涡轮分子泵中，形成有涡轮叶片(旋转叶片)的转子相对于固定侧的涡轮叶片(固定叶片)高速旋转，对气体进行排气。这些固定侧的涡轮叶片和转子配置在形成有吸气口凸缘的泵外壳内(参照专利文献1)。

一般，在使用涡轮分子泵的情况下，需要定期地进行维护、检修。例如，在由机械轴承支承的类型的涡轮分子泵中，必须定期更换机械轴承。另外，在磁轴承式的涡轮分子泵中，作为辅助轴承而使用的机械轴承由于泵的长期使用而磨损，有时需要更换。进而，在涡轮分子泵使用于对腐蚀性气体进行排气那样的装置中的情况下，在泵内的气体流路中粘着有生成物，对泵运转造成障碍，因此需要进行用于除去生成物的维护。

在真空泵的分解和组装作业中，不需要特殊的工具等，因此也能够将维护委托给泵制造厂商、指定的维护业者以外的业者，或者由使用者自身进行维护。但是，不限于涡轮分子泵，在真空泵的组装时，为了确保真空性能、安全性，要求严格的组装精度。为此，由受过训练的专业的作业人员、即由泵制造厂商、指定的维护业者这样的作业人员来进行随真空泵的分解和组装而来的维护。

专利文献1：日本特开2008-038844号公报

发明内容

发明要解决的问题

在真空泵的分解和组装作业中，当将维护委托给泵制造厂商、指定的维护业者以外的业者或者由使用者自身进行维护时，有可能不能正确地进行维护作业。当不能正确地进行维护作业时，不仅存在泵性能降低或泵寿命缩短这样的问题，还存在发生故障或损害安全性这样的问题。

用于解决问题的方案

根据本发明的第一方式，真空泵具备：转子，其进行旋转来进行真空排气；泵分解检测电路，其检测真空泵被分解的分解状态；以及泵运转禁止电路，其在判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，禁止转子的旋转驱动。

根据本发明的第二方式，优选的是第一方式的真空泵具备：泵单元，其具有转子，进行真空排气；以及控制单元，其进行包括转子的旋转驱动在内的泵单元的驱动控制，其中，泵单元具有：泵分解检测电路；以及保持电路，其在由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，保持与分解历史记录相应的状态，控制单元具有泵运转禁止电路，在控制单元启动时由保持电路保持着与分解历史记录相应的状态的情况下，泵运转禁止电路判定为由泵分解检测电路检测出分解状态，禁止控制单元进行泵单元的驱动控制。

根据本发明的第三方式，优选的是在第二方式的真空泵中，控制单元具有输入部，该输入部用于输入解除由保持电路保持的与分解历史记录相应的状态的解除指令，泵单元具有复位电路，在通过控制单元输入了解除指令的情况下，该复位电路对保持电路所保持的与分解历史记录相应的状态进行复位。

根据本发明的第四方式，优选的是在第二方式的真空泵中，泵单元具有磁轴承，该磁轴承使转子磁悬浮，在控制单元启动时由保持电路保持着与分解历史记录相应的状态的情况是由保持电路保持着与磁轴承控制参数的值不同的其它数据的情况，其中，该磁轴承控制参数用于磁轴承使转子磁悬浮，在由保持电路保持的其它数据与被控制单元预先输入的磁轴承控制参数的值不一致的情况下，泵运转禁止电路判定为由泵分解检测电路检测出分解状态，禁止控制单元进行泵单元的驱动控制，保持电路预先存储磁轴承控制参数的值，在由泵分解检测部检测出分解状态的情况下，将预先存储的磁轴承控制参数的值替换为其它数据。

根据本发明的第五方式，优选的是在第一方式的真空泵中，具备：泵单元，其具有转子，进行真空排气；以及控制单元，其能够与泵单元分离地固定于泵单元，进行包括转子的旋转驱动在内的泵单元的驱动控制，其中，如果控制单元被从泵单元分离，则泵分解检测电路检测出分解状态。

根据本发明的第六方式，优选的是在第五方式的真空泵中，泵单元和控制单元分别具备将泵单元与控制单元进行电连接的连接器，如果在控制单元被从泵单元分离时连接器被分离，则泵分解检测电路检测出分解状态。

根据本发明的第七方式，优选的是在第一方式～第六方式中的任一个方式的真空泵中，还具备警报装置，在通过泵运转禁止电路判定为由泵分解检测电路检测出分解状态的情况下，该警报装置产生警报。

发明效果

根据本发明，在由泵分解检测电路检测出泵分解的情况下，通过泵运转禁止电路禁止转子的旋转驱动，因此，能够实现提高真空泵的安全性。