[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，具备：

转子，其进行旋转来进行真空排气；

泵分解检测电路，其检测上述真空泵被分解的分解状态；以及

泵运转禁止电路，其在判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，禁止上述转子的旋转驱动。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备：

泵单元，其具有上述转子，进行真空排气；以及

控制单元，其进行包括上述转子的上述旋转驱动在内的上述泵单元的驱动控制，

其中，上述泵单元具有：上述泵分解检测电路；以及保持电路，其在由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，保持与分解历史记录相应的状态，

上述控制单元具有上述泵运转禁止电路，

在上述控制单元启动时由上述保持电路保持着上述与分解历史记录相应的状态的情况下，上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态，禁止上述控制单元进行上述泵单元的上述驱动控制。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

上述控制单元具有输入部，该输入部用于输入解除由上述保持电路保持的上述与分解历史记录相应的状态的解除指令，

上述泵单元具有复位电路，在通过上述控制单元输入了上述解除指令的情况下，该复位电路对上述保持电路所保持的上述与分解历史记录相应的状态进行复位。

4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

上述泵单元具有磁轴承，该磁轴承使上述转子磁悬浮，

在上述控制单元启动时由上述保持电路保持着上述与分解历史记录相应的状态的情况是由上述保持电路保持着与磁轴承控制参数的值不同的其它数据的情况，其中，该磁轴承控制参数用于上述磁轴承使上述转子磁悬浮，

在由上述保持电路保持的上述其它数据与被上述控制单元预先输入的上述磁轴承控制参数的值不一致的情况下，上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态，禁止上述控制单元进行上述泵单元的上述驱动控制，

上述保持电路预先存储上述磁轴承控制参数的值，在由上述泵分解检测部检测出上述分解状态的情况下，将预先存储的上述磁轴承控制参数的值替换为上述其它数据。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备：

泵单元，其具有上述转子，进行真空排气；以及

控制单元，其能够与上述泵单元分离地固定于上述泵单元，进行包括上述转子的上述旋转驱动在内的上述泵单元的驱动控制，

其中，如果上述控制单元被从上述泵单元分离，则上述泵分解检测电路检测出上述分解状态。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

上述泵单元和上述控制单元分别具备将上述泵单元与上述控制单元进行电连接的连接器，

如果在上述控制单元被从上述泵单元分离时上述连接器被分离，则上述泵分解检测电路检测出上述分解状态。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的真空泵，其特征在于，

还具备警报装置，在通过上述泵运转禁止电路判定为由上述泵分解检测电路检测出上述分解状态的情况下，该警报装置产生警报。