[发明专利]基于二氮杂二烯的金属化合物、其生产方法和使用其形成薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种基于二氮杂二烯（DAD）的金属化合物、及其生产方法和使用其形成薄膜的方法。提供气体状态的本发明的基于二氮杂二烯（DAD）的金属化合物，以通过化学气相沉积或原子层沉积制成金属薄膜或金属氧化物薄膜。特别地，本发明的基于二氮杂二烯的有机金属化合物具有的优势在于它可以形成金属薄膜或金属氧化物薄膜，且能在不使用剧毒的配位体的情况下，以相对廉价的方式生产。

主权项

1.一种由下列化学式1至4中任一个表示的基于二氮杂二烯（DAD）的金属化合物：<化学式1><化学式2><化学式3><化学式4>其中，在所述化学式1至4中，M表示Ni、Co或Mn，以及R¹至R⁴中的每个各自独立地表示氢，或具有碳原子数范围为从1至6的直链或支链的烷基。