[发明专利]基于二氮杂二烯的金属化合物、其生产方法和使用其形成薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201180055167.2 申请日: 2011-11-17
公开(公告)号: CN103298971A 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 韩元锡 申请(专利权)人: UP化学株式会社
主分类号: C23C16/18 分类号: C23C16/18;C23C16/44
代理公司: 上海胜康律师事务所 31263 代理人: 李献忠
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 基于 二氮杂二烯 金属 化合物 生产 方法 使用 形成 薄膜
【权利要求书】:

1.一种由下列化学式1至4中任一个表示的基于二氮杂二烯(DAD)的金属化合物:

<化学式1>

<化学式2>

<化学式3>

<化学式4>

其中,在所述化学式1至4中,

M表示Ni、Co或Mn,以及

R1至R4中的每个各自独立地表示氢,或具有碳原子数范围为从1至6的直链或支链的烷基。

2.根据权利要求1所述的基于二氮杂二烯的金属化合物,

其中,所述基于二氮杂二烯的金属化合物由所述化学式1表示,所述化学式1中,R1和R2是异丙基或叔丁基,且R3和R4是氢。

3.根据权利要求1所述的基于二氮杂二烯的金属化合物,

其中,所述基于二氮杂二烯的金属化合物由所述化学式2表示,所述化学式2中,R1和R2是异丙基或叔丁基,且R3是氢。

4.根据权利要求1所述的基于二氮杂二烯的金属化合物,

其中,所述基于二氮杂二烯的金属化合物由所述化学式3表示,所述化学式3中,R1和R2是异丙基或叔丁基,且R3和R4是氢。

5.根据权利要求1所述的基于二氮杂二烯的金属化合物,

其中,所述基于二氮杂二烯的金属化合物由所述化学式4表示,所述化学式4中,R1和R2是异丙基或叔丁基,且R3和R4是氢。

6.一种用于生产由下面的化学式1表示的基于二氮杂二烯的金属化合物的方法,如下面的反应式1所示,该方法包括:

使由下面的化学式5表示的二氮杂二烯中性配位体与氢还原剂反应,以合成二氮杂二烯诱导的二价负离子;以及

使由下面的所述化学式5表示的所述二氮杂二烯中性配位体与由MX2表示的二价的金属卤素化合物反应,然后向其中加入所述二氮杂二烯诱导的二价负离子,从而使它们之间反应:

<化学式1>

<化学式5>

<反应式1>

其中

X表示Cl、Br或I,

M表示Ni、Co或Mn,以及

R1至R4中的每个各自独立地表示氢,或具有碳原子数范围为从1至6的直链或支链的烷基。

7.一种用于生产由下面的化学式2表示的基于二氮杂二烯的金属化合物的方法,如下面的所述反应式2所示,该方法包括:

使由下面的化学式6表示的二氮杂二烯中性配位体与氢还原剂反应,以合成二氮杂二烯诱导的一价负离子;以及

加入由MX2表示的二价的金属卤素化合物至所述二氮杂二烯诱导的一价负离子,从而使它们之间反应:

<化学式2>

<化学式6>

<反应式2>

其中

X表示Cl、Br或I,

M表示Ni、Co或Mn,以及

R1至R4中的每个各自独立地表示氢,或具有碳原子数范围为从1至6的直链或支链的烷基。

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