[发明专利]图案判定装置以及计算机程序有效
| 申请号： | 201180051941.2 | 申请日： | 2011-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN103201819A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 生井仁;山口聪;笹岛二大 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01L21/027;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王亚爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于，提供一种与图案的形成状态或者图像的取得条件无关地、稳定地进行在试样上形成的凹凸的识别的试样的凹凸判定装置以及计算机程序。作为为了达成上述目的的一个方式，提出了一种针对基于通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，求出某阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或者空白部，以及/或者将与该面积相对较小的空间相当的部位判定为凸部或者线条部的装置以及计算机程序。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 判定 装置 以及 计算机 程序 | ||
【主权项】：
一种试样的凹凸判定装置，其具备运算装置，所述运算装置基于根据通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，来进行所述试样的凹部判定以及/或者凸部判定，所述试样的凹凸判定装置的特征在于，该运算装置，求出第1阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或空白部、以及/或者将与该面积相对较小的区域相当的部位判定为凸部或线条部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180051941.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：后张无粘结预应力混凝土结构的端头防护构造
- 下一篇：一种剩余污泥的磷回收装置
