[发明专利]图案判定装置以及计算机程序

说明书

技术领域

本发明涉及图案的判定装置以及计算机程序，尤其涉及适合获得在半导体晶片上形成的图案的识别信息的装置以及计算机程序。

背景技术

扫描电子显微镜等带电粒子线装置，是适合在高度微型化的半导体晶片上形成的图案的测定和观察的装置。在现有技术中，作为用带电粒子线装置获得试样的三维信息、尤其是试样的凹凸信息的方法，有专利文献1中公开的立体观察法。

立体观察法，通过对试样从倾斜的2个方向照射光束，来生成2枚图像，通过在该2枚图像间进行立体匹配，求出对应点，从而算出高度，并获得三维信息。

在专利文献2中，公开了一种对试样上的图案从倾斜方向照射光束来进行图案的尺寸测定的技术。

在专利文献3中，当照射光束而形成的曲线的具有峰值的一方的末端部分与其他末端部分相比缓和地收敛时，将与该一方的末端部分相当的所述试样上的部位判定为凸部，或者当一方的末端部分与其他末端部分相比急剧地收敛时，将与该一方的末端部分相当的所述试样上的部位判定为凹部，由此获得凹凸信息。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：JP特开平5-41195号公报

专利文献2：JP特开平5-175496号公报

专利文献3：JP特开2004-251674号公报(对应美国专利公开公报US2004/0222375)

【发明概要】

【发明要解决的课题】

在通过扫描电子显微镜来进行试样上的线条、或者空白的图案长度测量的情况下，若线条和空白的宽度大致相等，则其判别很难，有可能弄错长度测量部位。尤其是，在线条与空白间的对比度小的情况下，该问题更加显著。

此外，虽然如专利文献1、专利文献2中公开的那样，通过对试样面斜着照射光束，能够获得三维信息，但还需要进行例如使光束倾斜后的视野对准，需要用于进行光束倾斜的处理时间，吞吐量(throughput)下降。

虽然如专利文献3中公开的那样，通过对照射光束而形成的曲线的相对于峰值的左右的倾斜度进行比较，也能够判定凹凸，但这是以线条的曲线的形状在线条和空白的边界附近出现峰值为前提而进行判定，在倍率低的情况下或线条间隔密集的情况下，根据试样的种类等不同，有时该前提不成立。

以下，对以不依赖于图案的形成状态或者图像的取得条件地、稳定地进行在试样上形成的凹凸的识别、或者通过例如双重曝光法而形成的图案的识别为目的的图案的判定装置以及计算机程序进行说明。

发明内容

作为为了达成上述目的的一个方式，说明针对基于通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，求出某阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，将与该面积相对较大的区域相当的位置判定为凹部或者空白部、以及/或者将与该面积相对较小的区域相当的位置判定为凸部或者线条部的装置以及计算机程序。

进而说明将与面积相对较大的区域相当的位置判定为通过双重曝光而形成的图案的中心间隙，将与面积相对较小的区域相当的位置判定为隔离物间隙的装置以及计算机程序。

此外，作为为了达成上述目的的其他方式，说明针对基于通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，求出某阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，在判断为根据面积的大小而分类的2个组间存在有效差的情况下，或者相邻的区域的面积差大于规定值的情况下，判定为在被分类到该较大一侧的位置、或者面积相对较大的一侧的位置存在凹部或者空白部，以及/或者判定为在被分类到较小的一侧的位置、或者面积相对较小的一侧的位置存在凸部或者线条部的装置以及计算机程序。

进而说明基于上述分类，对通过双重曝光而形成的图案的中心间隙和隔离物间隙进行判定的装置以及计算机程序。

进而，作为为了达成上述目的的又一其他方式，说明针对基于通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，求出某阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，在判断为根据面积的大小而分类的2个组间不存在有效差的情况下，或者相邻的空间的面积差为规定值以下的情况下，判定为在与所述多个区域相当的位置存在凹部或空白部的装置以及计算机程序。

进而说明基于上述分类，对通过双重曝光而形成的图案的中心间隙和隔离物间隙进行判定的装置以及计算机程序。

【发明效果】

根据上述构成，能够与图案的形成状态或者图像的取得条件无关地、稳定地进行在试样上形成的凹凸或者间隙的识别。

附图说明