[发明专利]图案判定装置以及计算机程序

权利要求书

1.一种试样的凹凸判定装置，其具备运算装置，所述运算装置基于根据通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，来进行所述试样的凹部判定以及/或者凸部判定，

所述试样的凹凸判定装置的特征在于，

该运算装置，求出第1阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或空白部、以及/或者将与该面积相对较小的区域相当的部位判定为凸部或线条部。

2.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置将基于所述曲线波形的上侧峰值的平均而得到的第2阈值、与基于下侧峰值的平均而得到的第3阈值的中心，设定为所述第1阈值。

3.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置，将基于所述曲线波形的上侧峰值的平均而得到的第2阈值、与基于下侧峰值的平均而得到的第3阈值的中心设定为第4阈值，将基于超过第4阈值的上侧峰值的中值而得到的第5阈值、与基于下侧峰值的最小值而得到的第6阈值的中心，设定为所述第1阈值。

4.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置求出通过表示所述第1阈值的线段和所述曲线波形来定义轮廓的区域内的面积。

5.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置，将所述多个区域的面积根据大小分类为2个组，在判定为该2个组间存在有效差的情况下，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或者空白部、以及/或者将与该面积相对较小的区域相当的部位判定为凸部或者线条部。

6.一种试样的凹凸判定方法，其特征在于，

在权利要求5中，所述运算装置基于两样本t检验来实施所述有效差的判定。

7.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置，在所述多个区域的面积内、相邻的区域的面积的差大于规定值的情况下，将与该面积相对较大的区域相当的部位判定为凹部或者空白部、以及/或者将与该面积相对较小的区域相当的部位判定为凸部或者线条部。

8.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置，将所述多个区域的面积根据大小分类为2个组，在判定为该2个组间不存在有效差的情况下，将与所述多个区域相当的部位判定为凹部或空白部。

9.根据权利要求8所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置基于两样本t检验来实施所述有效差的判定。

10.根据权利要求1所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置，在所述多个区域的面积内、相邻的区域的面积的差为规定值以下的情况下，将与所述多个区域相当的部位判定为凹部或空白部。

11.一种试样的凹凸判定装置，其具备运算装置，所述运算装置基于根据通过对试样的带电粒子线的扫描而得到的检测信号而形成的曲线，来进行所述试样的凹部判定以及/或者凸部判定，

该运算装置求出第1阈值以下的曲线波形所形成的多个区域的面积，在判定为根据面积的大小对与该面积相关的信息进行分类而得到的2个组间不存在有效差的情况下，或者所述多个区域内、相邻的区域的面积差为规定值以下的情况下，将与该多个区域相当的部位判定为凹部或空白部。

12.根据权利要求11所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置将基于所述曲线波形的上侧峰值的平均而得到的第2阈值、与基于下侧峰值的平均而得到的第3阈值的中心设定为所述第1阈值。

13.根据权利要求11所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置，将基于所述曲线波形的上侧峰值的平均而得到的第2阈值、与基于下侧峰值的平均而得到的第3阈值的中心设定为第4阈值，将基于超过第4阈值的上侧峰值的中值而得到的第5阈值、与基于下侧峰值的最小值而得到的第6阈值的中心设定为所述第1阈值。

14.根据权利要求11所述的试样的凹凸判定装置，其特征在于，

所述运算装置求出通过表示所述第1阈值的线段和所述曲线波形来定义轮廓的区域内的面积。