[发明专利]用于将大基板分割成更小的基板的方法和用于可控地选择性地沉积密封材料的方法有效
申请号: | 201180035981.8 | 申请日: | 2011-06-03 |
公开(公告)号: | CN103155722B | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | D·瑞德尔;S·利埃尔;R·科尔塔伽-卡伽拉 | 申请(专利权)人: | 弗莱克因艾伯勒有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00;H05K1/02;H05K3/28;H01L21/67;H01L23/31;H01L23/495;H05K1/18;H05K3/32 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 一种技术包括:通过分解过程从一个或更多个较大的基板形成多个较小的基板,根据该分解过程在较小的基板之间存在某一在变化范围内的可能变化尺寸;以及,在所述分解过程之前,为所述一个或更多个较大的基板提供一个或更多个检测标记,该检测标记的尺寸和位置被选择为使得,无论较小的基板具有在所述变化范围内的什么实际尺寸,在分解过程之后每一个较小的基板都包括所述一个或更多个检测标记中的至少一个的一部分,所述一部分具有与该较小的基板的一个或更多个边缘的至少一部分重合的一个或更多个边缘。 | ||
搜索关键词: | 用于 将大基板 分割 成更小 方法 可控 选择性 沉积 密封材料 | ||
【主权项】:
一种通过由一个或更多个引导标记引导的分解过程从一个或更多个较大的基板形成多个较小的基板的方法;其中该分解过程是一种根据该分解过程可能会稍微偏离引导标记和在较小的基板之间存在尺寸上的在变化范围内的某一可能变化的分解过程;以及,其中所述方法包括,在所述分解过程之前,为所述一个或更多个较大的基板提供一个或更多个作为也限定所述一个或更多个引导标记的图案化的层的一部分的检测标记,其中检测标记的尺寸和位置被选择为使得,即使分解过程偏离了一个或更多个引导标记以及无论较小的基板具有在所述变化范围内的什么实际尺寸,每一个检测标记的一部分都保持作为较小的基板的在所述较小的基板的拐角处的一部分,并且具有与较小的基板的限定所述拐角的一对边缘的至少一部分重合的一对边缘。
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