[发明专利]音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法无效
| 申请号: | 201180025800.3 | 申请日: | 2011-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN102907118A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
| 发明(设计)人: | 石本浩一;多田罗佳孝;犬塚伸;S·康蒂 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社;意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;孟祥海 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 在本发明的音响传感器(1)中,在硅基板(11)的上表面,隔着气隙(22)而配置有导电性的振动膜(14)和上固定电极板(5),并且在硅基板(11)的表面上添加有杂质。 | ||
| 搜索关键词: | 音响 传感器 转换器 利用 传声器 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种音响转换器,包含半导体基板、导电性的振动膜、及固定电极板;该音响转换器在所述半导体基板的上表面,隔着空隙而配置有所述振动膜和所述固定电极板,根据所述振动膜和所述固定电极板间的静电电容的变化来检测压力;该音响转换器的特征在于:在所述半导体基板的表面上添加有杂质。
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