[发明专利]音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种音响转换器，尤其涉及一种利用MEMS(Micro Electro Mechanical System，微电子机械系统)技术制造的微小尺寸的音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法。

背景技术

以往，作为小型的传声器，使用一种利用被称为ECM(Electret Condenser Microphone，驻极体电容传声器)的音响传感器的传声器。然而，ECM不耐热，另外，在应对数码化、小型化、高功能·多功能化、省功率这些方面，利用使用MEMS技术制造的音响传感器的传声器(MEMS传声器)较为优异，因此，近年来多采用MEMS传声器。

使用MEMS技术制造的音响传感器(MEMS传感器)是使用半导体集成电路制作技术制作的音响传感器，其具有如下构成：以利用隔膜电极和背板电极形成电容器的方式，将这些电极设在半导体基板上。

而且，如果对该MEMS传感器施加声压，那么导电性的振动膜(隔膜)会振动，从而振动膜和包含固定电极的固定膜(背板)间的距离发生变化。由此，由振动膜和固定电极形成的电容器的静电电容发生变化。MEMS传声器通过测定该静电电容的变化所引起的电压的变化，作为电信号而输出声压。而且，作为表示MEMS传感器的构成的文献，有专利文献1～3。

在专利文献1中，记载着使用硅基板作为固定电极，在硅基板上设置振动膜的微传感器。

另外，在专利文献2中，记载着和专利文献1同样地使用硅基板作为固定电极，在硅基板上设置振动膜的硅电容传声器(传感器)。

另外，在专利文献3中，记载着包含导电性的振动板、和通过空气间隔而和振动板分离且由基板支撑的穿孔构件的音响转换器。

(现有技术文献)

专利文献1：美国专利申请公开第2004/0259286号说明书(2004年12月23日公开)

专利文献2：美国专利申请公开第2005/0005421号说明书(2005年1月13日公开)

专利文献3：日本国际专利申请公开公报“特表2004-506394号(2004年2月26日公开)”

发明内容

(本发明要解决的问题)

然而，所述专利文献1～3的构成中产生以下问题。即，如果光照射到构成传声器的半导体基板，那么由于光电效应，而出现由原子产生电子和空穴并再次结合这样的现象。而且，在该电子和空穴的产生、结合的过程中会产生电流。该电流成为噪音，而无法准确地作为电信号输出声压。

本发明是鉴于所述问题点而完成的，其目的在于实现减少由于照射光而产生的噪音的音响转换器等。

(解决问题的方案)

为了解决所述课题，本发明的音响转换器包含半导体基板、导电性的振动膜、及固定电极板；该音响转换器在所述半导体基板的上表面隔着空隙而配置有所述振动膜和所述固定电极板，根据所述振动膜和所述固定电极板间的静电电容的变化来检测压力；该音响转换器的特征在于：在所述半导体基板的表面上添加有杂质。

另外，在本发明的音响转换器的制造方法中，该音响转换器包含半导体基板、导电性的振动膜、及固定电极板，根据该振动膜和该固定电极板间的静电电容的变化来检测压力；该音响转换器的制造方法的特征在于包含：杂质添加步骤，向所述半导体基板的表面添加杂质；及形成步骤，在添加有所述杂质的所述半导体基板上形成所述振动膜及所述固定电极板。

然而，如果对半导体基板照射光，那么由于光电效应会由原子产生电子和空穴，其后再次结合。由此，电流在半导体基板中流动。如果从因光电效应产生电子和空穴起至再次结合为止的时间也就是寿命(lifetime)较长，那么所述电子及空穴的存在数变大，因此在所述半导体基板中流动的电流变大，该电流所导致的噪音变大。

另一方面，如果向半导体基板添加杂质，那么添加了杂质的区域和未添加杂质的区域相比，所述寿命变短，因此所述电子及空穴的存在数变少。因而，在所述半导体基板中流动的电流减少，该电流所导致的噪音变小。

而且，根据所述构成或方法，向半导体基板的表面添加杂质。因而，即便对半导体基板的表面照射光，也可以缩短所述寿命，因此可以减少由于光电效应而产生的电子和空穴的存在数。也就是说，可以减少流动的电流。由此，可以减少由于照射光而产生的电流所导致的噪音，因此能够提供可以更准确地检测压力的压力传感器。

(发明的效果)

如上所述，本发明的音响转换器的构成为，在半导体基板的表面上添加有杂质。