[发明专利]音响传感器、音响转换器、利用该音响转换器的传声器、及音响转换器的制造方法

权利要求书

1.一种音响转换器，包含半导体基板、导电性的振动膜、及固定电极板；

该音响转换器在所述半导体基板的上表面，隔着空隙而配置有所述振动膜和所述固定电极板，根据所述振动膜和所述固定电极板间的静电电容的变化来检测压力；

该音响转换器的特征在于：

在所述半导体基板的表面上添加有杂质。

2.根据权利要求1所述的音响转换器，其特征在于：

在所述半导体基板的形成有所述振动膜一侧的表面上，添加有杂质。

3.根据权利要求2所述的音响转换器，其特征在于：

所述半导体基板的所述表面、和所述振动膜或所述固定电极板之间形成电连接。

4.根据权利要求3所述的音响转换器，其特征在于：

在添加有杂质的所述半导体基板的表面中，形成所述电连接的区域的杂质浓度低于除此以外区域的杂质浓度。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的音响转换器，其特征在于：

所述杂质为以下的任意种物质：硼、磷、砷、金、铝、铁、铬、及它们的化合物。

6.一种传声器，其特征在于：

包含权利要求1至5中任一权利要求所述的音响转换器、和获取该音响转换器所检测到的压力变化的获取部。

7.一种音响转换器的制造方法，该音响转换器包含半导体基板、导电性的振动膜、及固定电极板，且根据该振动膜和该固定电极板间的静电电容的变化来检测压力；

该音响转换器的制造方法的特征在于包含：

杂质添加步骤，向所述半导体基板的表面添加杂质；及

形成步骤，在添加有所述杂质的所述半导体基板上，形成所述振动膜及所述固定电极板。