[发明专利]多级加热器及轴的制造方法

摘要

本发明提供一种能够抑制从加热基板向轴侧的热传导的多级加热器及轴的制造方法。多级加热器具备：由铝或含有铝的合金构成的加热基板(2)；与加热基板的一面接合，并支承加热基板的轴(5)。轴(5)具有：由比加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管(6)；将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态向管喷涂并堆积，从而在管的与加热基板接合的一侧形成的接合层(7)。

主权项

一种多级加热器，其特征在于，具备：由铝或含有铝的合金构成的加热基板；与所述加热基板的一面接合，且支承所述加热基板的轴，所述轴具有：由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管；通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态向所述管喷涂并堆积，而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成的接合层。