[发明专利]多级加热器及轴的制造方法有效
| 申请号: | 201180022731.0 | 申请日: | 2011-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN102884224A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
| 发明(设计)人: | 茅本隆司;平野智资 | 申请(专利权)人: | 日本发条株式会社 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L21/02;H01L21/683;H05B3/06 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 雒运朴 |
| 地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多级 加热器 制造 方法 | ||
1.一种多级加热器,其特征在于,具备:
由铝或含有铝的合金构成的加热基板;
与所述加热基板的一面接合,且支承所述加热基板的轴,
所述轴具有:由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管;通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速,直接以固相状态向所述管喷涂并堆积,而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成的接合层。
2.根据权利要求1所述的多级加热器,其特征在于,
所述接合层形成在所述管的与所述加热基板接合的一侧的端面。
3.根据权利要求1或2所述的多级加热器,其特征在于,
所述接合层形成在所述管的外周面。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的多级加热器,其特征在于,
所述管通过不锈钢、钛、钛合金中的任一种原料形成。
5.一种轴的制造方法,所述轴与由铝或含有铝的合金构成且在多级加热器中使用的加热基板的一面接合,且该轴支承所述加热基板,所述轴的制造方法的特征在于,
包括如下工序,即,通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速,直接以固相状态喷涂并堆积到由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管上,从而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成接合层。
6.根据权利要求5所述的轴的制造方法,其特征在于,
在所述工序中,将所述接合层形成在所述管的与所述加热基板接合的一侧的端面。
7.根据权利要求5或6所述的轴的制造方法,其特征在于,
在所述工序中,将所述接合层形成在所述管的外周面。
8.根据权利要求5~7中任一项所述的轴的制造方法,其特征在于,所述管通过不锈钢、钛、钛合金中的任一种原料形成。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





