[发明专利]多级加热器及轴的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180022731.0 申请日: 2011-04-19
公开(公告)号: CN102884224A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 茅本隆司;平野智资 申请(专利权)人: 日本发条株式会社
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L21/02;H01L21/683;H05B3/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 雒运朴
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 多级 加热器 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种多级加热器,其特征在于,具备:

由铝或含有铝的合金构成的加热基板;

与所述加热基板的一面接合,且支承所述加热基板的轴,

所述轴具有:由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管;通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速,直接以固相状态向所述管喷涂并堆积,而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成的接合层。

2.根据权利要求1所述的多级加热器,其特征在于,

所述接合层形成在所述管的与所述加热基板接合的一侧的端面。

3.根据权利要求1或2所述的多级加热器,其特征在于,

所述接合层形成在所述管的外周面。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的多级加热器,其特征在于,

所述管通过不锈钢、钛、钛合金中的任一种原料形成。

5.一种轴的制造方法,所述轴与由铝或含有铝的合金构成且在多级加热器中使用的加热基板的一面接合,且该轴支承所述加热基板,所述轴的制造方法的特征在于,

包括如下工序,即,通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速,直接以固相状态喷涂并堆积到由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管上,从而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成接合层。

6.根据权利要求5所述的轴的制造方法,其特征在于,

在所述工序中,将所述接合层形成在所述管的与所述加热基板接合的一侧的端面。

7.根据权利要求5或6所述的轴的制造方法,其特征在于,

在所述工序中,将所述接合层形成在所述管的外周面。

8.根据权利要求5~7中任一项所述的轴的制造方法,其特征在于,所述管通过不锈钢、钛、钛合金中的任一种原料形成。

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