[发明专利]多级加热器及轴的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及多级加热器及在多级加热器中使用的轴的制造方法。

背景技术

以往，半导体制造装置例如化学气相成长(CVD)装置在真空腔室内设置的多级加热器的加热基板上载置晶片并进行加热，同时在晶片上形成半导体膜或绝缘膜。在此，多级加热器具备加热基板和与所述加热基板的背面接合且支承所述加热基板的轴，在所述加热基板埋设有对所述晶片进行加热的发热体(例如，参照专利文献1)。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2010-40422号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，多级加热器需要将加热基板均匀加热，以便于即使加热基板上的载置场所不同也不会发生成膜于晶片的半导体膜或绝缘膜发生质的区别。然而，通常，加热基板将轴与载置晶片的面的背面接合，因此加热基板的热量向轴侧传导，存在与轴的接合部分的温度比其他的部分下降这样的问题。

本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种能够抑制从加热基板向轴侧的热传导的多级加热器及轴的制造方法。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，实现目的，本发明的多级加热器的特征在于，具备：由铝或含有铝的合金构成的加热基板；与所述加热基板的一面接合，且支承所述加热基板的轴，所述轴具有：由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管；通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态向所述管喷涂并堆积，而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成的接合层。

另外，本发明的多级加热器以上述的发明为基础，其特征在于，所述接合层形成在所述管的与所述加热基板接合的一侧的端面。

另外，本发明的多级加热器以上述的发明为基础，其特征在于，所述接合层形成在所述管的外周面。

另外，本发明的多级加热器以上述的发明为基础，其特征在于，所述管通过不锈钢、钛、钛合金中的任一种原料形成。

另外，为了解决上述课题，实现目的，本发明的轴的制造方法中，所述轴与由铝或含有铝的合金构成且在多级加热器中使用的加热基板的一面接合，且该轴支承所述加热基板，所述轴的制造方法的特征在于，包括如下工序，即，通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态喷涂并堆积到由比所述加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管上，从而在所述管的与所述加热基板接合的一侧形成接合层。

另外，本发明的轴的制造方法以上述的发明为基础，其特征在于，在所述工序中，将所述接合层形成在所述管的与所述加热基板接合的一侧的端面。

另外，本发明的轴的制造方法以上述的发明为基础，其特征在于，在所述工序中，将所述接合层形成所述管的外周面。

另外，本发明的轴的制造方法以上述的发明为基础，其特征在于，所述管通过不锈钢、钛、钛合金中的任一种原料形成。

【发明效果】

根据本发明，轴具有接合层，且接合层通过将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速，直接以固相状态喷涂并堆积到由比加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管上，由此形成在管的与加热基板接合一侧，因此，能够起到通过管抑制从加热基板向轴侧的热传导的效果。

附图说明

图1是表示本发明的多级加热器的实施方式1的剖视主视图。

图2是将在图1的多级加热器中使用的轴放大表示的中间省略剖视主视图。

图3是在实施方式1的基于冷喷射法的接合层的形成中使用的形成装置的示意图。

图4是表示实施方式1的多级加热器的变形例的剖视主视图。

图5是表示本发明的多级加热器的实施方式2的剖视主视图。

图6是将在图5的多级加热器中使用的轴放大表示的中间省略剖视主视图。

图7是在实施方式2的基于冷喷射法的接合层7的形成中使用的形成装置的示意图。

图8是表示本发明的多级加热器的实施方式3的剖视主视图。

图9是将在图8的多级加热器中使用的轴放大表示的剖视主视图。

图10是表示在实施方式3的多级加热器中使用的轴的变形例的剖视主视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的多级加热器及轴的制造方法的实施方式。需要说明的是，并非通过该实施方式来限定本发明。

(实施方式1)

图1是表示本发明的多级加热器的实施方式1的剖视主视图。